[实用新型]一种OLED线性蒸发源结构

说明书

本实用新型涉及一种OLED线性蒸发源结构，涉及蒸镀设备技术领域。所述OLED线性蒸发源结构包括坩埚，所述坩埚上设有坩埚出气口；本体，所述本体的底部中央位置设有本体进气口；及置于本体的顶部且呈线性均匀排布的多个喷嘴；所述本体在垂直于喷嘴排列方向上的两侧分别设有封板，所述封板紧固在所述本体上，且能实现对所述本体的内腔的密封。本实用新型的OLED线性蒸发源结构经过加热坩埚产生的蒸镀气体，通过所述本体进气口进入到本体内腔中后，会均衡地进入各本体通孔内，再经由各喷嘴将蒸渡气体均匀一致地喷射到基板上，能提高有机材料镀膜的厚度均匀性和良率。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀设备技术领域，具体涉及一种OLED线性蒸发源结构。

背景技术

近年来，OLED(Organic Light-Emitting Diode)作为一种新型的平板显示技术逐渐受到越来越多的关注，不断满足人们对更高品质显示产品的追求。目前，在大尺寸AMOLED(Active-matrix Organic Light-Emitting Diode)生产中，需要将有机材料等物质置于蒸镀设备的蒸发源中进行蒸发(或升华)，形成的气态有机材料通过蒸发源的喷嘴喷射到蒸发源上方的常温基板后，冷凝于玻璃基板表面，从而完成蒸镀作业。现有蒸镀设备多采用线性蒸发源，由于在坩埚加热及传递过程中不同位置的热量和温度存在差异，使得蒸发源不同位置的有机气体分子的热动能不一致，从而使不同位置的喷嘴喷出有机分子的蒸镀速率不同，导致镀膜的厚度均匀性差。

现有的线型蒸发源装置如图1所示，包括用于盛放并加热有机材料的坩埚1和长条形的线性蒸发源本体2，所述坩埚1的顶部连通所述本体2的底部中央位置，所述本体2的顶部设置有若干喷嘴3。当正常蒸镀作业时，所述坩埚1被加热器(图1中未示出)加热，坩埚1内的蒸镀材料受热蒸发(或升华)成气体进入本体2的腔室内，再经过喷嘴3喷向基板(图1中未示出)并冷凝成薄膜。对于现有的线性蒸发源，由于本体2呈长条形，坩埚1内的蒸气在进入本体2的腔室后，在腔室中邻近坩埚1的中央位置浓度较大，而远离坩埚1的两侧位置浓度较小，那么在所述本体2上靠近中央的喷嘴的蒸气压力相比靠近边缘的喷嘴要大。即，所述本体2的腔室内蒸气的压力不平衡，使得从不同位置喷嘴3喷出气体的热动能不一致，从而造成蒸镀到基板上的薄膜厚度不均匀，尤其在制作大尺寸AMOLED时该缺陷更加明显。

实用新型内容

本实用新型的目的就是要解决现有技术中的上述问题，提供了一种OLED线性蒸发源结构。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案具体如下：

一种OLED线性蒸发源结构，包括：

坩埚，所述坩埚上设有坩埚出气口；

本体，所述本体的内腔为中心对称的扇形截面形状；所述本体的底部中央位置设有本体进气口，用来与坩埚出气口相连通；

所述本体的顶部，设置有水平呈线性均匀排布，垂直高度相同的多个喷嘴；

所述本体在垂直于喷嘴排列方向上的两侧分别设有封板，所述封板紧固在所述本体上，且能实现对所述本体的内腔的密封。

在上述技术方案中，所述内腔由上至下依次设有：内腔上弧面、左右两个内腔底侧斜面和本体进气口。

在上述技术方案中，左右两个所述内腔底侧斜面的夹角的角度为90°～150°。

在上述技术方案中，所述本体上设置有多个本体通孔，每个所述喷嘴上分别设置有一个喷嘴通孔；

每个所述本体通孔的上端与一个所述喷嘴通孔相连通，每个所述本体通孔的下端通过内腔上弧面与所述本体的内腔相连通。

在上述技术方案中，所述本体通孔的直径比所述喷嘴通孔的直径大。