[实用新型]一种非晶合金的镀膜设备有效
| 申请号： | 201721905657.8 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN207727137U | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 董伍乐;赵海;李定春;翟会阳;柳先峰 | 申请（专利权）人： | 上海驰声新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 吴泽群 |
| 地址： | 201906 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反应炉 抽气管路 非晶合金 镀膜设备 电弧靶 本实用新型 分子泵 机械泵 靶材 粗抽 镀膜 挂具 保护气体装置 颜色多样性 保护气体 控制箱 电极 良率 蒸镀 着色 填补 | ||
【权利要求书】：
1.一种非晶合金的镀膜设备，其特征在于，包括：
反应炉；
挂具，所述挂具固定在所述反应炉内；
保护气体装置，通过保护气体管路与所述反应炉相连；
机械泵，通过第一抽气管路与所述反应炉相连，所述第一抽气管路上设置有粗抽阀；
分子泵，通过第二抽气管路与所述反应炉相连，所述第二抽气管路上设置有高抽阀；
电弧靶，所述电弧靶的电极位于所述反应炉内，且在所述反应炉内设置有靶材；
控制箱，与机械泵、粗抽阀、分子泵、高抽阀、电弧靶和靶材相连。
2.如权利要求1所述的非晶合金的镀膜设备，其特征在于，在所述第一抽气管路上且在粗抽阀的两端设置有高真空归和低真空归，高真空归位于粗抽阀和反应炉之间。
3.如权利要求1所述的非晶合金的镀膜设备，其特征在于，在所述反应炉中设置有一圈轨道，所述轨道下方设置有若干挂具，所述挂具能够围绕轨道的轴心匀速旋转。
4.如权利要求1所述的非晶合金的镀膜设备，其特征在于，所述靶材底部设置有自转装置。
5.如权利要求1所述的非晶合金的镀膜设备，其特征在于，所述反应炉侧壁设置有玻璃视窗。
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