[实用新型]一种非晶合金的镀膜设备

说明书

本实用新型提供了一种非晶合金的镀膜设备及蒸镀着色方法，包括：反应炉；挂具，挂具固定在反应炉内；保护气体装置，通过保护气体管路与反应炉相连；机械泵，通过第一抽气管路与反应炉相连，第一抽气管路上设置有粗抽阀；分子泵，通过第二抽气管路与反应炉相连，第二抽气管路上设置有高抽阀；电弧靶，电弧靶的电极位于反应炉内，且在反应炉内设置有靶材；控制箱，与机械泵、粗抽阀、分子泵、高抽阀、电弧靶和靶材相连。该非晶合金镀膜方法具有操作简单、良率高、颜色多样性等特点。本实用新型填补和解决了目前市面上非晶合金镀膜设备和镀膜方法的空白。

技术领域

本实用新型涉及非晶合金的加工工艺，具体涉及到一种非晶合金的镀膜设备。

背景技术

块体非晶合金通常是指铜模浇注时其玻璃形成能力(GFA)大于1mm以上，由于其固态微观组织是一种短程有序、长程无序的排列结构，与液态时类似，也与玻璃的微观组织相类似，所以也叫液态金属或金属玻璃。

块体非晶合金一个重要的特性就是硬度高、熔点低、耐酸碱腐蚀性好、导电性和导热性相对较好、加工成成品之后的镜面效果更加通透，故将来越来越多的领域使用的材料将会被此种材料所替代。

目前，针对非晶合金进行镀膜和上色一般是采用将非晶合金产品浸入液体中以在其表面形成膜层和着色层，但是此种方法不容易受控制，从液体中取出后还要等待长时间的干燥，同时液体一般有有害物质，对操作人员的健康有一定的危害。

实用新型内容

非晶合金产品因其性能特殊，将被广泛使用的电子类消费产品等很多领域，本实用新型旨在增加了一种全新的非晶合金产品的镀膜设备和镀膜方法。该设备采用惰性气体保护，在一定的真空度下，具有操作简单、低维修成本、稳定性强等特点。具体方案如下：

一种非晶合金的镀膜设备，包括：

反应炉；

挂具，所述挂具固定在所述反应炉内；

保护气体装置，通过保护气体管路与所述反应炉相连；

机械泵，通过第一抽气管路与所述反应炉相连，所述第一抽气管路上设置有粗抽阀；

分子泵，通过第二抽气管路与所述反应炉相连，所述第二抽气管路上设置有高抽阀；

电弧靶，所述电弧靶的电极位于所述反应炉内，且在所述反应炉内设置有靶材；

控制箱，与机械泵、粗抽阀、分子泵、高抽阀、电弧靶和靶材相连。

进一步的，在所述第一抽气管路上且在粗抽阀的两端设置有高真空归和低真空归，高真空归位于粗抽阀和反应炉之间。

进一步的，在所述反应炉中设置有一圈轨道，所述轨道下方设置有若干挂具，所述挂具能够围绕轨道的轴心匀速旋转。

进一步的，所述靶材顶部设置有自转装置。

进一步的，所述反应炉侧壁设置有玻璃视窗。

该非晶合金镀膜方法具有操作简单、良率高、颜色多样性等特点。本实用新型填补和解决了目前市面上非晶合金镀膜设备和镀膜方法的空白。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型提供的一种非晶合金的镀膜设备的示意图。

具体实施方式