[实用新型]一种新型磁控溅射镀膜遮罩板有效
| 申请号： | 201721907352.0 | 申请日： | 2017-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN207958487U | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 王策;刘小雨;蒋卓睿;张宽翔;陈涛;王云飞 | 申请（专利权）人： | 凯盛光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 杨晋弘 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纵向板 横向板 磁控溅射设备 溅射镀膜 新型磁控 螺孔 本实用新型 螺栓 现有设备 制造成本 遮罩板 遮罩 改造 配合 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型磁控溅射镀膜遮罩板，它包括横向板（1），在横向板（1）端部的一侧设有第一纵向板（2），在第一纵向板（2）设有第一螺孔（2a），设置螺栓（2b）通过螺栓（2b）将第一纵向板（2）与磁控溅射设备的机架连接在一起,其特征在于：在所述的横向板（1）端部的另一侧设有第二纵向板（3），在第二纵向板（3）设有与磁控溅射设备的机架对应配合的第二螺孔（3a）。
2.根据权利要求1中所述的一种新型磁控溅射镀膜遮罩板，其特征在于：所述的第一纵向板（2）和第二纵向板（3）为对称分布，且均与横向板（1）板面垂直。
3.根据权利要求1中所述的一种新型磁控溅射镀膜遮罩板，其特征在于：所述的第一纵向板和第二纵向板为分体制成或一体制成结构。
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