[实用新型]电镀装置有效

专利信息
申请号: 201721923761.X 申请日: 2017-12-29
公开(公告)号: CN208136354U 公开(公告)日: 2018-11-23
发明(设计)人: 王振荣;黄利松;刘红兵 申请(专利权)人: 上海新阳半导体材料股份有限公司
主分类号: C25D7/12 分类号: C25D7/12;C25D17/02;C25D17/10
代理公司: 上海脱颖律师事务所 31259 代理人: 李强;倪嘉慧
地址: 201616 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 电镀 阴极 电镀阳极 容腔 电镀装置 阳极屏蔽 阴极屏蔽 板设置 本实用新型 槽体内部 屏蔽装置 电镀液 槽体
【权利要求书】:

1.一种电镀装置,其特征在于,包括:槽体、电镀用屏蔽装置、电镀阳极和电镀阴极,其中,槽体内部设有容腔,容腔内容纳有电镀液,电镀阳极和电镀阴极设置于容腔内,阳极屏蔽板设置于电镀阳极和阴极屏蔽板之间,阴极屏蔽板设置于电镀阴极和阳极屏蔽板之间。

2.根据权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,所述的电镀用屏蔽装置包括:阴极屏蔽板和阳极屏蔽板,阴极屏蔽板和阳极屏蔽板间隔设置,阳极屏蔽板上设有若干第一通孔,阴极屏蔽板上设有若干第二通孔,所述第一通孔与所述第二通孔相对设置,使得电力线可自所述第一通孔穿过并穿过所述第二通孔。

3.根据权利要求2所述的电镀装置,其特征在于,还包括屏蔽组件,屏蔽组件设置于阳极屏蔽板和阴极屏蔽板之间,屏蔽组件上设置第三通孔,所述第三通孔与所述第一通孔及所述第二通孔位置相对,电力线可自所述第一通孔穿过后,再穿过所述第三通孔,然后再穿过所述第二通孔。

4.根据权利要求3所述的电镀装置,其特征在于,所述屏蔽组件与所述阳极屏蔽板连接;所述第三通孔与所述第一通孔及所述第二通孔位置相对。

5.根据权利要求3所述的电镀装置,其特征在于,所述屏蔽组件与所述阴极屏蔽板连接。

6.根据权利要求3所述的电镀装置,其特征在于,所述屏蔽组件包括屏蔽转接板组件和屏蔽环,所述屏蔽转接板组件设置有第四通孔;所述屏蔽环设置第五通孔,所述第四通孔和所述第五通孔组成所述第三通孔;所述屏蔽环一端与所述屏蔽转接板组件连接,另一端与所述阴极屏蔽板连接。

7.根据权利要求6所述的电镀装置,其特征在于,所述屏蔽转接板组件包括第一屏蔽板和第二屏蔽板;所述第一屏蔽板设置有容腔;所述第一屏蔽板上设置有第六通孔;所述第二屏蔽板与所述第一屏蔽板连接并覆盖所述容腔;所述第二屏蔽板上设置有第七通孔;所述第六通孔与所述第七通孔位置相对,所述第六通孔与所述第七通孔组成所述第四通孔。

8.根据权利要求7所述的电镀装置,其特征在于,所述屏蔽环一端自所述第七通孔插入所述容腔内,另一端通过法兰与所述阴极屏蔽板连接。

9.根据权利要求8所述的电镀装置,其特征在于,所述屏蔽环为管状结构,所述屏蔽环一端穿过所述阴极屏蔽板,所述法兰位于屏蔽环端部,所述法兰将所述屏蔽环卡接在所述阴极屏蔽板上。

10.根据权利要求3所述的电镀装置,其特征在于,还包括支撑框架,所述阳极屏蔽板设置在所述支撑框架上;所述屏蔽组件与所述支撑框架连接。

11.根据权利要求2所述的电镀装置,其特征在于,所述的电镀阳极包括:若干阳极板和导电件,各个阳极板设置于阳极屏蔽板的各个第一通孔的正对位置,导电件与阳极板相连,导电件和电镀阴极导电使得阳极板和电镀阴极导通产生电力线。

12.根据权利要求11所述的电镀装置,其特征在于,还包括阳极固定板,阳极固定板上设有若干第八通孔,各个第八通孔中容纳一个阳极板,以固定阳极板。

13.根据权利要求11所述的电镀装置,其特征在于,还包括支撑框架,阳极屏蔽板、阳极板、导电件和阳极固定板均设置于支撑框架内,支撑框架用于支撑固定阳极屏蔽板、阳极板、导电件和阳极固定板。

14.根据权利要求13所述的电镀装置,其特征在于,所述的支撑框架包括:第一侧板、第二侧板、两个第一立柱、若干第二立柱和底柱,其中,第一侧板设置于导电件的一侧,第二侧板设置于阳极屏蔽板的一侧,底柱的两端分别连接两个第一立柱的端部从而形成一个框架,框架的两侧分别设置第一侧板和第二侧板从而构成一个容纳空间,容纳空间内设置若干第二立柱,将容纳空间均匀分隔成若干子空间,各个子空间内分别设置一组阳极屏蔽板、阳极板、导电件和阳极固定板。

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