[实用新型]电镀装置

说明书

本实用新型公开了一种电镀装置，其特征在于，包括：槽体、电镀用屏蔽装置、电镀阳极和电镀阴极，其中，槽体内部设有容腔，容腔内容纳有电镀液，电镀阳极和电镀阴极设置于容腔内，阳极屏蔽板设置于电镀阳极和阴极屏蔽板之间，阴极屏蔽板设置于电镀阴极和阳极屏蔽板之间。

技术领域

本实用新型涉及一种电镀装置。

背景技术

晶圆电镀使用电镀装置，电镀装置使用阴极阳极产生电力线进行电镀，阴极阳极通电后，阴极和阳极之间的电力线会分散分布，只有一部分电力线到达晶圆的表面进行电镀，这样产生了电力线的浪费，电镀的效率低下；同时，阳极发生部分的结构复杂。

实用新型内容

本实用新型为解决上述技术问题，提供一种电镀用屏蔽装置及电镀装置。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现：

一种电镀装置，包括：槽体、前述电镀用屏蔽装置、电镀阳极和电镀阴极，其中，槽体内部设有容腔，容腔内容纳有电镀液，电镀阳极和电镀阴极设置于容腔内，阳极屏蔽板设置于电镀阳极和阴极屏蔽板之间，阴极屏蔽板设置于电镀阴极和阳极屏蔽板之间。

根据本实用新型的一个实施方案，所述的电镀用屏蔽装置，包括：阴极屏蔽板和阳极屏蔽板，阴极屏蔽板和阳极屏蔽板间隔设置，阳极屏蔽板上设有若干第一通孔，阴极屏蔽板上设有若干第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相对设置，使得电力线可自所述第一通孔穿过并穿过所述第二通孔。

根据本实用新型的一个实施方案，还包括屏蔽组件，屏蔽组件设置于阳极屏蔽板和阴极屏蔽板之间，屏蔽组件上设置第三通孔，所述第三通孔与所述第一通孔及所述第二通孔位置相对，电力线可自所述第一通孔穿过后，再穿过所述第三通孔，然后再穿过所述第二通孔。

根据本实用新型的一个实施方案，所述屏蔽组件与所述阳极屏蔽板连接；所述第三通孔与所述第一通孔及所述第二通孔位置相对。

根据本实用新型的一个实施方案，所述屏蔽组件与所述阴极屏蔽板连接。

根据本实用新型的一个实施方案，所述屏蔽组件包括屏蔽转接板组件和屏蔽环，所述屏蔽板转接组件设置有第四通孔；所述屏蔽环设置第五通孔，所述第四通孔和所述第五通孔组成所述第三通孔；所述屏蔽环一端与所述屏蔽转接板组件连接，另一端与所述阴极屏蔽板连接。

根据本实用新型的一个实施方案，所述屏蔽转接板组件包括第一屏蔽板和第二屏蔽板；所述第一屏蔽板设置有容腔；所述第一屏蔽板上设置有第六通孔；所述第二屏蔽板与所述第一屏蔽板连接并覆盖所述容腔；所述第二屏蔽板上设置有第七通孔；所述第六通孔与所述第七通孔位置相对，所述第六通孔与所述第七通孔组成所述第四通孔。

根据本实用新型的一个实施方案，所述屏蔽环一端自所述第七通孔插入所述容腔内，另一端通过法兰与所述阴极屏蔽板连接。

根据本实用新型的一个实施方案，所述屏蔽环为管状结构，所述屏蔽环一端穿过所述阴极屏蔽板，所述法兰位于屏蔽环端部，所述法兰将所述屏蔽环卡接在所述阴极屏蔽板上。

根据本实用新型的一个实施方案，还包括支撑框架，所述阳极屏蔽板设置在所述支撑框架上；所述屏蔽组件与所述支撑框架连接。

根据本实用新型的一个实施方案，所述的电镀阳极包括：若干阳极板和导电件，各个阳极板设置于阳极屏蔽板的各个第一通孔的正对位置，导电件与阳极板相连，导电件和电镀阴极导电使得阳极板和电镀阴极导通产生电力线。

根据本实用新型的一个实施方案，还包括阳极固定板，阳极固定板上设有若干第八通孔，各个第八通孔中容纳一个阳极板，以固定阳极板。

根据本实用新型的一个实施方案，还包括支撑框架，阳极屏蔽板、阳极板、导电件和阳极固定板均设置于支撑框架内，支撑框架用于支撑固定阳极屏蔽板、阳极板、导电件和阳极固定板。