[实用新型]等离子体-质谱分析系统有效
申请号: | 201721923765.8 | 申请日: | 2017-12-30 |
公开(公告)号: | CN207730704U | 公开(公告)日: | 2018-08-14 |
发明(设计)人: | 俞晓峰;韩双来;梁炎;徐岳 | 申请(专利权)人: | 杭州谱育科技发展有限公司 |
主分类号: | G01N27/62 | 分类号: | G01N27/62;G01N27/64;H01J49/04;H01J49/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310052 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 离子偏转 等离子体 质谱分析系统 离子 取样锥 出射 阀门 矩管 本实用新型 阀门设置 质谱分析仪 单元偏转 单元设置 竖直向上 真空单元 检测 出口 | ||
1.一种等离子体-质谱分析系统,所述等离子体-质谱分析系统包括质谱分析仪;其特征在于:所述等离子体-质谱分析系统进一步包括:
矩管,所述矩管的出口竖直向上;
取样锥,所述取样锥设置在所述矩管的离子出射方向上;
第一阀门,所述第一阀门设置在所述离子出射方向上,且处于所述取样锥的下游;
离子偏转单元,所述离子偏转单元设置在离子出射方向上,且处于第一阀门的下游,经过所述离子偏转单元后,离子偏转角度α;
第二阀门,所述第二阀门设置在经过所述离子偏转单元偏转后的离子方向上。
2.根据权利要求1所述的等离子体-质谱分析系统,其特征在于:所述第一阀门和/或第二阀门采用滑动阀。
3.根据权利要求1所述的等离子体-质谱分析系统,其特征在于:所述取样锥包括依次设置的第一取样锥和第二取样锥。
4.根据权利要求1所述的等离子体-质谱分析系统,其特征在于:角度
5.根据权利要求1所述的等离子体-质谱分析系统,其特征在于:所述离子偏转单元采用偏转电场。
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