[实用新型]等离子体-质谱分析系统

说明书

本实用新型提供了一种等离子体‑质谱分析系统，所述等离子体‑质谱分析系统包括质谱分析仪、真空单元；矩管，所述矩管的出口竖直向上；取样锥，所述取样锥设置在所述矩管的离子出射方向上；第一阀门，所述第一阀门设置在所述离子出射方向上，且处于所述取样锥的下游；离子偏转单元，所述离子偏转单元设置在离子出射方向上，且处于第一阀门的下游，经过所述离子偏转单元后，离子偏转角度α；第二阀门，所述第二阀门设置在经过所述离子偏转单元偏转后的离子方向上。本实用新型具有检测精度高等优点。

技术领域

本实用新型涉及质谱分析，特别涉及等离子体-质谱分析系统。

背景技术

在ICP-MS分析时，炬管全部采用水平放置，采用取样锥深入等离子体中截取其中的离子进入质谱仪进行质量分析。因为等离子体功率很高，所以需要采用水冷的取样锥和大流量抽风的风冷系统对等离子体、取样锥散热，这样不仅需要很大流量的冷却气(氩气)对炬管进行保护，以免烧毁炬管，另外大流量的风冷系统不可避免的会吹动等离子体，导致等离子体内部的进样通道会受到风的影响产生扰动，导致分析结果产生不必要的波动。

另外深入到等离子体中的截取锥也受到等离子体高温的影响，随着加热时间的变化，导致ICP-MS采集到的离子数逐渐变化，反映在一起性能上就是信号逐渐偏移，稳定性不好。

同时因为水平放置炬管,受热力学的正常影响,炬管的上部空间自然是温度较高，下部空间温度较低,等离子体分布不均匀、温度分布也不均匀，容易导致炬管上部空间更容易烧毁。

实用新型内容

为了解决上述现有技术方案中的不足，本实用新型提供了一种排除中性离子影响、离子传输效率高、稳定时间短、分析精密度高、可靠性好的等离子体-质谱分析系统。

一种等离子体-质谱分析系统，所述等离子体-质谱分析系统包括质谱分析仪、真空单元；所述等离子体-质谱分析系统进一步包括：

矩管，所述矩管的出口竖直向上；

取样锥，所述取样锥设置在所述矩管的离子出射方向上；

第一阀门，所述第一阀门设置在所述离子出射方向上，且处于所述取样锥的下游；

离子偏转单元，所述离子偏转单元设置在离子出射方向上，且处于第一阀门的下游，经过所述离子偏转单元后，离子偏转角度α；

第二阀门，所述第二阀门设置在经过所述离子偏转单元偏转后的离子方向上。

根据上述的等离子体-质谱分析系统，优选地，所述第一阀门和/或第二阀门采用滑动阀。

根据上述的等离子体-质谱分析系统，可选地，所述取样锥包括依次设置的第一取样锥和第二取样锥。

根据上述的等离子体-质谱分析系统，优选地，角度

根据上述的等离子体-质谱分析系统，优选地，所述离子偏转单元采用偏转电场。

与现有技术相比，本实用新型具有的有益效果为：

1.相较于传统的离轴偏转，90度离轴可以完全消除中心粒子干扰，而且离子传输效率更高，在90度转弯空间布置合适的离子光学系统可以大幅度的提高离子传输效率；

2.等离子体设计符合热气体自动上行的特点，热量自动等离子体上部空间，对于炬管整体是均匀的，不会在炬管局部造成温度的集中，导致炬管过早损坏，提高使用寿命；

3.竖直等离子体炬管上的温度将会更低，对于冷却气消耗来说更加节省；常规的可以把冷却气的消耗量降低到10L/min以下，减少三分之一的氩气消耗量；

4.竖直炬管的热量直接被上方的水冷接口带走，设备热源更集中，有利于集中将热量排走，不会导致整机内部产生温升；