[发明专利]在基板上沉积沉积材料的蒸镀板、蒸镀设备、以及在基板上沉积沉积材料的方法

权利要求书

1.一种用于在基板上沉积沉积材料的蒸镀板，该蒸镀板具有第一侧和与第一侧相对的第二侧，该蒸镀板包括：

主体板；

第一冷却层，其位于所述主体板上并且位于所述蒸镀板的第一侧；和

第一加热层，其位于所述第一冷却层的远离所述主体板的一侧；

其中，所述第一冷却层构造为冷却位于所述蒸镀板的第一侧的所述第一加热层；并且

所述第一加热层构造为加热沉积在所述蒸镀板的第一侧上的材料；

还包括：

第二冷却层，其位于所述主体板上并且位于所述蒸镀板的第二侧；和

第二加热层，其位于所述第二冷却层的远离所述主体板的一侧；

其中，所述第二冷却层构造为冷却位于所述蒸镀板的第二侧的所述第二加热层；并且

所述第二加热层构造为加热沉积在所述蒸镀板的第二侧上的材料。

2.根据权利要求1所述的蒸镀板，还包括：

第一热扩散层，其位于所述第一加热层的远离所述第一冷却层的一侧，并且构造为分配从所述第一加热层传导的热；和

第二热扩散层，其位于所述第二加热层的远离所述第二冷却层的一侧，并且构造为分配从所述第二加热层传导的热；

其中，所述第一冷却层构造为冷却位于所述蒸镀板的第一侧的所述第一加热层和所述第一热扩散层；

所述第一加热层构造为通过所述第一热扩散层加热沉积在所述第一热扩散层上的材料；

所述第二冷却层构造为冷却位于所述蒸镀板的第二侧的所述第二加热层和所述第二热扩散层；并且

所述第二加热层构造为通过所述第二热扩散层加热沉积在所述第二热扩散层上的材料。

3.根据权利要求1所述的蒸镀板，还包括：枢轴，其构造为使所述蒸镀板在第一位置和第二位置之间旋转。

4.一种蒸镀设备，包括根据权利要求1所述的蒸镀板。

5.根据权利要求4所述的蒸镀设备，还包括：多个喷嘴，其构造为将蒸发的沉积材料扩散到所述蒸镀板上。

6.根据权利要求5所述的蒸镀设备，其中，所述蒸镀板还包括：

第一热扩散层，其位于所述第一加热层的远离所述第一冷却层的一侧，并且构造为分配从所述第一加热层传导的热；和

第二热扩散层，其位于所述第二加热层的远离所述第二冷却层的一侧，并且构造为分配从所述第二加热层传导的热；

其中，所述第一冷却层构造为冷却位于所述蒸镀板的第一侧的所述第一加热层和所述第一热扩散层；

所述第一加热层构造为通过所述第一热扩散层加热沉积在所述第一热扩散层上的材料；

所述第二冷却层构造为冷却位于所述蒸镀板的第二侧的所述第二加热层和所述第二热扩散层；并且

所述第二加热层构造为通过所述第二热扩散层加热沉积在所述第二热扩散层上的材料。

7.根据权利要求5所述的蒸镀设备，其中，所述蒸镀板构造为在第一位置和第二位置之间旋转；

其中，当所述蒸镀板位于所述第一位置时，所述多个喷嘴面对所述蒸镀板的第一侧，并且构造为将蒸发的沉积材料扩散到位于所述第一位置的所述蒸镀板的第一侧上；并且

当所述蒸镀板位于所述第二位置时，所述多个喷嘴面对所述蒸镀板的第二侧，并且构造为将蒸发的沉积材料扩散到位于所述第二位置的所述蒸镀板的第二侧上。

8.根据权利要求7所述的蒸镀设备，其中，所述第二加热层构造为当所述蒸镀板位于所述第一位置时对扩散在所述蒸镀板的第二侧上的沉积材料进行加热；并且

所述第一加热层构造为当所述蒸镀板位于所述第二位置时对扩散在所述蒸镀板的第一侧上的沉积材料进行加热。

9.根据权利要求7所述的蒸镀设备，还包括：枢轴，其与所述蒸镀板耦接并且构造为使所述蒸镀板在所述第一位置和所述第二位置之间旋转。