[发明专利]在基板上沉积沉积材料的蒸镀板、蒸镀设备、以及在基板上沉积沉积材料的方法

说明书

一种用于在基板(5，5a，5b)上沉积沉积材料的蒸镀板(100)，蒸镀板(100)具有第一侧(S1)和与第一侧(S1)相对的第二侧(S2)，包括：主体板(1)；第一冷却层(11)，其位于主体板(1)上并且位于蒸镀板(100)的第一侧(S1)；以及第一加热层(12)，其位于第一冷却层(11)的远离主体板(1)的一侧。第一冷却层(11)构造为冷却位于蒸镀板(100)的第一侧(S1)的第一加热层(12)。第一加热层(12)构造为加热沉积在蒸镀板(100)的第一侧(S1)上的材料。还提供一种蒸镀设备、在基板(5，5a，5b)上沉积沉积材料的方法，以及显示设备。

技术领域

本发明涉及显示技术，更具体地，涉及用于在基板上沉积沉积材料的蒸镀板、蒸镀设备、以及在基板上沉积沉积材料的方法。

背景技术

在制作有机发光二极管(OLED)的常规工艺中，利用蒸镀坩埚将有机发光材料蒸镀到基板上。具体地，将有机发光材料置于具有热源的蒸镀坩埚内。当将电力施加至热源时，将有机发光材料蒸发或升华为蒸汽。蒸发或升华的蒸汽在其到达位于蒸镀坩埚的顶部的基板时凝结。有机发光材料被沉积在基板上。

发明内容

在一方面，本公开提供了一种用于在基板上沉积沉积材料的蒸镀板，该蒸镀板具有第一侧和与第一侧相对的第二侧，该蒸镀板包括：主体板；第一冷却层，其位于主体板上并且位于蒸镀板的第一侧；以及第一加热层，其位于第一冷却层的远离主体板的一侧；其中，第一冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第一侧的第一加热层；并且，第一加热层构造为加热沉积在蒸镀板的第一侧上的材料。

可选地，蒸镀板还包括：第二冷却层，其位于主体板上并且位于蒸镀板的第二侧；以及第二加热层，其位于第二冷却层的远离主体板的一侧；其中，第二冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第二侧的第二加热层；并且，第二加热层构造为加热沉积在蒸镀板的第二侧上的材料。

可选地，蒸镀板还包括：第一热扩散层，其位于第一加热层的远离第一冷却层的一侧，并且构造为分配从第一加热层传导的热；以及第二热扩散层，其位于第二加热层的远离第二冷却层的一侧，并且构造为分配从第二加热层传导的热；其中，第一冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第一侧的第一加热层和第一热扩散层；第一加热层构造为通过第一热扩散层加热沉积在第一热扩散层上的材料；第二冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第二侧的第二加热层和第二热扩散层；并且，第二加热层构造为通过第二热扩散层加热沉积在第二热扩散层上的材料。

可选地，蒸镀板还包括枢轴，其构造为使蒸镀板在第一位置和第二位置之间旋转。

在另一方面，本公开提供了一种蒸镀设备，其包括本文描述的蒸镀板或通过本文描述的方法制造的蒸镀板。

可选地，蒸镀设备还包括：多个喷嘴，其构造为将蒸发的沉积材料扩散到蒸镀板上。

可选地，蒸镀板还包括：第二冷却层，其位于主体板上并且位于蒸镀板的第二侧；以及第二加热层，其位于第二冷却层的远离主体板的一侧；其中，第二冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第二侧的第二加热层；并且，第二加热层构造为加热沉积在蒸镀板的第二侧上的材料。

可选地，蒸镀板还包括：第一热扩散层，其位于第一加热层的远离第一冷却层的一侧，并且构造为分配从第一加热层传导的热；以及第二热扩散层，其位于第二加热层的远离第二冷却层的一侧，并且构造为分配从第二加热层传导的热；其中，第一冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第一侧的第一加热层和第一热扩散层；第一加热层构造为通过第一热扩散层加热沉积在第一热扩散层上的材料；第二冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第二侧的第二加热层和第二热扩散层；并且，第二加热层构造为通过第二热扩散层加热沉积在第二热扩散层上的材料。

可选地，蒸镀板构造为在第一位置和第二位置之间旋转；其中，当蒸镀板位于第一位置时，多个喷嘴面对蒸镀板的第一侧，并且构造为将蒸发的沉积材料扩散到位于第一位置的蒸镀板的第一侧上；并且，当蒸镀板位于第二位置时，多个喷嘴面对蒸镀板的第二侧，并且构造为将蒸发的沉积材料扩散到位于第二位置的蒸镀板的第二侧上。