[发明专利]弹性表面波元件用基板及其制造方法

权利要求书

1.一种弹性表面波元件用基板，其由镁铌酸锂单晶或镁钽酸锂单晶构成，

所述镁铌酸锂单晶是Li与Nb的原子比为0.9421≤Li／Nb≤0.9443、Mg的含有比例为1摩尔%～5摩尔%的镁铌酸锂单晶，

所述镁钽酸锂单晶是Li与Ta的原子比为0.9421≤Li／Ta≤0.9443、Mg的含有比例为1摩尔%～5摩尔%的镁钽酸锂单晶。

2.根据权利要求1所述的弹性表面波元件用基板，其中，厚度为1mm以下。

3.根据权利要求1或2所述的弹性表面波元件用基板，其中，体积电阻率为9.9×10¹²Ω·cm以下。

4.根据权利要求1或2所述的弹性表面波元件用基板，其中，所述镁铌酸锂单晶的居里温度为1150℃～1215℃，或者所述镁钽酸锂单晶的居里温度为620℃～720℃。

5.一种弹性表面波元件用基板的制造方法，其包括如下工序：

原料混合物制备工序，将作为锂源的碳酸锂即Li₂CO₃、作为铌源的五氧化二铌即Nb₂O₅以及作为镁源的氧化镁即MgO以满足以下的（1）和（2）的方式进行混合而制备原料混合物，

（1）Li与Nb的原子比：0.9421≤Li／Nb≤0.9443，

（2）由Li₂CO₃和Nb₂O₅生成LiNbO₃时的MgO相对于LiNbO₃和MgO的合计的摩尔比：0.01≤MgO／（MgO＋LiNbO₃）≤0.05；

原料混合物熔融工序，使该原料混合物熔融而制成原料混合物熔液；

单晶培育工序，通过在该原料混合物熔液中浸渍晶种并提拉而培育镁铌酸锂单晶；以及

基板制作工序，由在该单晶培育工序中得到的镁铌酸锂单晶制作基板。

6.一种弹性表面波元件用基板的制造方法，其包括如下工序：

原料混合物制备工序，将作为锂源的碳酸锂即Li₂CO₃、作为钽源的五氧化二钽即Ta₂O₅以及作为镁源的氧化镁即MgO以满足以下的（3）和（4）的方式进行混合而制备原料混合物，

（3）Li与Ta的原子比：0.9421≤Li／Ta≤0.9443，

（4）由Li₂CO₃和Ta₂O₅生成LiTaO₃时的MgO相对于LiTaO₃和MgO的合计的摩尔比：0.01≤MgO／（MgO＋LiTaO₃）≤0.05；

原料混合物熔融工序，使该原料混合物熔融而制成原料混合物熔液；

单晶培育工序，通过在该原料混合物熔液中浸渍晶种并提拉而培育镁钽酸锂单晶；以及

基板制作工序，由在该单晶培育工序中得到的镁钽酸锂单晶制作基板。

7.根据权利要求5或6所述的弹性表面波元件用基板的制造方法，其中，所述基板制作工序中，使所述基板的厚度为1mm以下。

8.根据权利要求5或6所述的弹性表面波元件用基板的制造方法，其中，所述基板制作工序包括基板的还原处理工序，

该还原处理工序为如下工序：将所述基板和含有碱金属化合物的还原剂收容于处理容器中，在减压下以200℃以上且小于构成所述基板的单晶的居里温度的温度保持该处理容器内，从而还原该基板。