[发明专利]光学检查装置、透镜以及光学检查方法

权利要求书

1.一种光学检查装置，对包括至少一个透镜的被检光学系统进行检查，所述光学检查装置具备：

发光体；

卡片，描绘出由所述发光体投影的图案；

准直透镜，配设在所述卡片与所述被检光学系统之间；和

反射镜，配设在所述准直透镜与所述被检光学系统之间，

所述发光体向所述卡片照射光，由此对所述准直透镜照射光而作为轴上光线，并且将所述卡片的图案经由所述准直透镜以及所述被检光学系统而投影至图像传感器的中心部，

所述反射镜对所述轴上光线之中的经由所述准直透镜照射至该反射镜的光朝向所述被检光学系统进行反射，从而经由所述被检光学系统而投影至所述图像传感器的周边部，

所述图像传感器接收从所述准直透镜不被所述反射镜反射地入射至所述被检光学系统并射出的第一光、和从所述准直透镜被所述反射镜反射后入射至所述被检光学系统并射出的第二光，

所述反射镜不位于所述被检光学系统的光轴上。

2.根据权利要求1所述的光学检查装置，其中，

所述光学检查装置具备多个所述反射镜，

所述多个反射镜配置为围着所述准直透镜的中心轴成旋转对称，并且相对于所述中心轴而倾斜与所述被检光学系统的检查相应的角度。

3.根据权利要求2所述的光学检查装置，其中，

所述被检光学系统在所述光学检查装置中配置为所述被检光学系统的光轴与所述准直透镜的中心轴一致，

在所述被检光学系统的检查中需要的光的入射角为θ的情况下，

所述反射镜相对于所述中心轴而倾斜θ/2。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的光学检查装置，其中，

所述卡片的图案为大致圆形，

所述卡片中的所述图案的周边为黑色。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的光学检查装置，其中，

所述光学检查装置还具备：工作台，能够沿着所述准直透镜的中心轴移动，

所述图像传感器配置于所述工作台。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的光学检查装置，其中，

所述光学检查装置还具备：工作台，能够沿着所述准直透镜的中心轴移动，

所述卡片配置于所述工作台。

7.一种光学检查方法，对包括至少一个透镜的被检光学系统进行检查，

利用发光体、描绘出由所述发光体投影的图案的卡片、配设在所述卡片与所述被检光学系统之间的准直透镜、和配设在所述准直透镜与所述被检光学系统之间的反射镜，

所述发光体向所述卡片照射光，由此对所述准直透镜照射光而作为轴上光线，并且将所述卡片的图案经由所述准直透镜以及所述被检光学系统而投影至图像传感器的中心部，

所述反射镜对所述轴上光线之中的经由所述准直透镜照射至该反射镜的光朝向所述被检光学系统进行反射，从而经由所述被检光学系统而投影至所述图像传感器的周边部，

所述图像传感器同时接收从所述准直透镜不被所述反射镜反射地入射至所述被检光学系统并射出的第一光、和从所述准直透镜被所述反射镜反射后入射至所述被检光学系统并射出的第二光，

所述反射镜不位于所述被检光学系统的光轴上。