[发明专利]光学检查装置、透镜以及光学检查方法

说明书

本发明提供一种光学检查装置、透镜以及光学检查方法。光学检查装置(100)具备LED(101)、卡片(102)、准直仪(103)和反射镜(111)。LED(101)向卡片(102)照射光，由此对准直仪(103)照射光而作为轴上光线。由此，卡片(102)的图案经由准直仪(103)以及被检光学系统(120)而投影至图像传感器(130)的中心部。反射镜(111)对该轴上光线之中的经由准直仪(103)照射至反射镜(111)的光进行反射。由此，反射镜(111)经由被检光学系统(120)而向图像传感器(130)的周边部投影卡片(102)的图案。

技术领域

本公开涉及对包括至少一个透镜的光学系统的光学性能进行检查的光学检查装置、进行基于该光学检查装置的检查而制造出的透镜、以及光学检查方法。

背景技术

以往，已提出对被检透镜的光学性能进行检查的光学检查装置(例如，参照专利文献1)。在该专利文献1中，作为光学检查装置的测定装置由反射镜反射配设在被检透镜的光轴上的卡片，由被检透镜摄影该被反射的卡片，由此来测定。然后，测定装置基于该测定结果来运算被检透镜的调制传递函数(MTF)等作为光学性能。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-184118号公报

发明内容

然而，在上述专利文献1的光学检查装置中，存在由被检透镜摄影该卡片时的摄影距离受限制的问题。

因此，本公开提供一种能够抑制摄影距离限制的光学检查装置。

本公开的一形态所涉及的光学检查装置是对包括至少一个透镜的被检光学系统进行检查的光学检查装置。光学检查装置具备发光体、卡片、准直透镜和反射镜。在卡片描绘出由发光体投影的图案。准直透镜配设在卡片与被检光学系统之间。反射镜配设在准直透镜与被检光学系统之间。发光体向卡片照射光，由此对准直透镜照射光而作为轴上光线。卡片的图案经由准直透镜以及被检光学系统而投影至图像传感器的中心部。反射镜对轴上光线之中的经由准直透镜照射至反射镜的光进行反射。由此，经由被检光学系统而投影至图像传感器的周边部。

另外，这些包括性或者具体的形态可以通过系统、方法、集成电路、计算机程序或者计算机可读取的CD-ROM等记录介质来实现，也可以通过系统、方法、集成电路、计算机程序以及记录介质的任意组合来实现。

本公开的光学检查装置能够抑制摄影距离限制。

附图说明

图1是表示实施方式中的光学检查装置的整体结构的图。

图2A是实施方式中的反射部的俯视图。

图2B是实施方式中的反射部的剖面立体图。

图3是表示实施方式中的反射镜的倾斜角的图。

图4是表示实施方式中的卡片的图。

图5是表示实施方式中的摄影图像的图。

图6是表示实施方式中的摄影图像之中的部分图像的图。

图7是用于说明实施方式中的控制装置对MTF的解析的图。

图8是表示实施方式中的聚焦位置与MTF的值之间的关系的图。

图9A是表示实施方式中的基于光学检查装置的检查方法的流程图。

图9B是详细表示图9A的步骤S130中的MTF的值的计算处理的流程图。

图10是表示实施方式的变形例所涉及的光学检查装置的整体结构的图。

具体实施方式

(成为本公开的基础的见解)