[发明专利]等离子电极以及等离子处理装置

权利要求书

1.一种等离子电极，其特征在于，具备：

第一电极板，具有圆筒形状的多个凸部，并被施加高频电力；

接地板，设置有圆筒形状的多个第一贯通孔，上述多个第一贯通孔具有比上述凸部的外径大的内径；以及

绝缘板，设置有圆筒形状的多个第二贯通孔，并被配置于上述第一电极板与上述接地板之间，上述多个第二贯通孔具有比上述凸部的外径大的内径，

上述第一电极板、上述绝缘板以及上述接地板以将上述凸部配置于上述第一贯通孔以及上述第二贯通孔的内侧的方式重叠配置，

在上述凸部沿着上述凸部的中心轴设置有第三贯通孔，

在上述第一电极板与上述绝缘板之间设置有第一流路，

在上述凸部的周围设置有与上述第一流路连通的第二流路，

在上述接地板中，在各个上述第一贯通孔的周围设置有第四贯通孔，

上述第三贯通孔或者上述第四贯通孔的任意一方将第一处理气体向上述接地板的下方排出，

上述第三贯通孔或者上述第四贯通孔的任意另一方排出上述接地板的下方的气体，

上述第二流路与形成在上述凸部的外侧壁和上述第一贯通孔的内侧壁之间的间隙连通，并对该间隙供给经由上述第一流路所供给的第二处理气体，

供给到上述间隙的上述第二处理气体通过施加到上述第一电极板的高频电力而在上述间隙内被等离子化。

2.根据权利要求1所述的等离子电极，其特征在于，

上述第一电极板、上述绝缘板以及上述接地板以上述凸部的中心轴、上述第一贯通孔的中心轴以及上述第二贯通孔的中心轴一致的方式重叠配置。

3.根据权利要求1所述的等离子电极，其特征在于，

上述第二流路是形成在上述凸部的外侧壁与上述第二贯通孔的内侧壁之间的间隙。

4.根据权利要求3所述的等离子电极，其特征在于，

上述第一流路在设置有上述凸部的上述第一电极板的面上被设置于各个上述凸部的周围，

上述第二流路的宽度比被设置在上述凸部的周围的上述第一流路的宽度窄。

5.根据权利要求1所述的等离子电极，其特征在于，

上述第二流路是被设置在上述凸部的周围的多个第五贯通孔。

6.根据权利要求5所述的等离子电极，其特征在于，

上述第一流路在设置有上述凸部的上述第一电极板的面上被设置于各个上述凸部的周围，

各个上述第五贯通孔的开口的内径比被设置在上述凸部的周围的上述第一流路的宽度窄。

7.根据权利要求1所述的等离子电极，其特征在于，

在上述第一电极中还具备被设置在与上述绝缘板侧的面相反侧的面的第二电极板，

在上述第一电极板与上述第二电极板之间设置有与上述第三贯通孔连通的第三流路。

8.根据权利要求7所述的等离子电极，其特征在于，

上述第一流路在与上述第一电极板的下表面平行的面内向第一方向延伸，

上述第三流路在与上述第一电极板的下表面平行的面内向与上述第一方向不同的第二方向延伸，

上述第一流路的延伸方向和上述第三流路的延伸方向在被投影到与上述第一电极板的下表面平行的面的情况下在上述第三贯通孔的中心轴相交。

9.根据权利要求7所述的等离子电极，其特征在于，

在上述第一电极板或者上述第二电极板中设置有成为上述第三流路的第一槽，

上述第一电极板和上述第二电极板在上述第一槽以外的面相接。

10.根据权利要求1所述的等离子电极，其特征在于，

上述第三贯通孔将上述第一处理气体向上述接地板的下方排出，

上述第四贯通孔排出上述接地板的下方的气体，

上述第四贯通孔被配置于上述第四贯通孔的中心轴在上述接地板中与相邻的三个上述第三贯通孔的中心轴等距离的位置。

11.一种等离子处理装置，其特征在于，具备：

腔室；

载置台，被配置于上述腔室内，载置被处理基板；以及

等离子电极，以与上述载置台对置的方式被设置在上述腔室的上部，

上述等离子电极具有：

第一电极板，具有圆筒形状的多个凸部，并被施加高频电力；

接地板，设置有圆筒形状的多个第一贯通孔，上述多个第一贯通孔具有比上述凸部的外径大的内径；以及

绝缘板，设置有圆筒形状的多个第二贯通孔，并被配置在上述第一电极板与上述接地板之间，上述多个第二贯通孔具有比上述凸部的外径大的内径，

上述第一电极板、上述绝缘板以及上述接地板以将上述凸部配置于上述第一贯通孔以及上述第二贯通孔的内侧的方式重叠配置，

在上述凸部沿着中心轴设置有第三贯通孔，

在上述第一电极板与上述绝缘板之间设置有第一流路，

在上述凸部的周围设置有与上述第一流路连通的第二流路，

在上述接地板中，在各个上述第一贯通孔的周围设置有第四贯通孔，

上述第三贯通孔或者上述第四贯通孔的任意一方将第一处理气体向上述接地板的下方排出，

上述第三贯通孔或者上述第四贯通孔的任意另一方排出上述接地板的下方的气体，

上述第二流路与形成在上述凸部的外侧壁与上述第一贯通孔的内侧壁之间的间隙连通，对该间隙供给经由上述第一流路所供给的第二处理气体，

供给到上述间隙的上述第二处理气体通过施加到上述第一电极板的高频电力而在上述间隙内被等离子化。