[发明专利]用于丝网印刷基板的设备和方法、和太阳能电池生产设备

权利要求书

1.一种用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备，所述设备包括：

工艺头部组件，所述工艺头部组件包括：

一个或多个沉积装置，所述一个或多个沉积装置被配置为用于将所述材料从丝网传送到所述基板；和

一个或多个材料处理装置，所述一个或多个材料处理装置被配置为用于处理所述丝网上的所述材料，以在所述丝网上提供均匀的所述材料的膜，所述材料处理能够被称为覆墨；

驱动装置，所述驱动装置被配置为用于沿着基板支撑件在第一方向上移动所述工艺头部组件，以便在沉积工艺过程的持续时间的至少一部分期间同时传送和处理所述材料。

2.如权利要求1所述的设备，其中所述丝网设置在所述基板支撑件与所述工艺头部组件之间，其中所述一个或多个沉积装置包括刮板，并且其中所述刮板被配置为与所述丝网接触以进行印刷。

3.如权利要求1或2所述的设备，其中所述一个或多个材料处理装置至少包括第一材料处理装置和第二材料处理装置，其中所述一个或多个沉积装置中的至少一个沉积装置定位在所述第一材料处理装置与所述第二材料处理装置之间。

4.如权利要求1-2任一项所述的设备，进一步包括一个或多个第一致动器，所述一个或多个第一致动器被配置为调整所述一个或多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置与所述丝网之间的距离。

5.如权利要求4所述的设备，其中所述一个或多个第一致动器包括第一致动器单元和第二致动器单元，所述第一致动器单元被配置为调整所述一个或多个材料处理装置的第一材料处理装置与所述丝网之间的第一距离，所述第二致动器单元被配置为调整所述一个或多个材料处理装置的第二材料处理装置与所述丝网之间的第二距离。

6.如权利要求1-2任一项所述的设备，

其中所述工艺头部组件包括第一工艺头部和第二工艺头部，其中所述一个或多个沉积装置中的至少一个沉积装置附接到所述第一工艺头部，并且所述一个或多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置附接到所述第二工艺头部，或者

其中所述工艺头部组件包括工艺头部，其中所述一个或多个沉积装置中的至少一个沉积装置和所述一个或多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置附接到所述工艺头部。

7.一种太阳能电池生产设备，所述太阳能电池生产设备包括：

一个或多个沉积站，

根据权利要求1至2中任一项所述的设备，所述设备位于所述一个或多个沉积站中的至少一个沉积站中。

8.一种用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法，所述方法包括：

将具有一个或多个沉积装置和一个或多个材料处理装置的工艺头部组件沿着基板支撑件在第一方向上至少从第一位置移动到第二位置，以便使用一个或多个沉积装置中的至少一个沉积装置将所述材料从丝网传送至所述基板，并使用一个或多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置来执行所述丝网上的所述材料的处理，以在所述丝网上提供均匀的所述材料的膜，所述材料处理能够被称为覆墨，其中在所述工艺头部组件从所述第一位置移动到所述第二位置的持续时间的至少一部分期间同时执行所述传送和所述处理。

9.如权利要求8所述的方法，其中所述材料的所述传送和所述处理在沉积工艺的持续时间的至少一部分期间被同时执行。

10.如权利要求8或9所述的方法，其中所述一个或多个材料处理装置被配置成用于提供在所述丝网上的所述材料的均匀的膜。

11.如权利要求8或9所述的方法，进一步包括：

将所述工艺头部组件在与所述第一方向相反的第二方向移动，以在沿所述第二方向的移动期间执行所述材料的传送和处理。

12.如权利要求8所述的方法，其中所述工艺头部组件在所述第一方向上的所述移动使用所述一个或多个材料处理装置中的第一材料处理装置。