[发明专利]用于丝网印刷基板的设备和方法、和太阳能电池生产设备

说明书

提供了用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板(10)上的设备(100)。设备(100)包括工艺头部组件(110)和驱动装置(140)。工艺头部组件(100)包括：一个或多个沉积装置(120)，一个或多个沉积装置(120)被配置为用于将材料从丝网(154)传送到基板(10)；和一个或多个材料处理装置(130)，所述一个或多个材料处理装置(130)用于处理丝网(154)上的材料。所述驱动装置(140)被配置为用于沿着基板支撑件(20)在第一方向(1)上移动工艺头部组件(110)，以便在沉积工艺过程中传送和处理材料。

技术领域

本公开内容的实施方式涉及用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备、太阳能电池生产设备、以及用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法。

背景技术

太阳能电池是将阳光直接转换成电力的光伏器件。在这个领域内，已知使用沉积技术、具体地是印刷技术在晶体硅基底上生产太阳能电池，从而在太阳能电池的前表面上实现选择性发射器结构。处理周期可包括至少一个印刷操作和任选的另一材料处理操作，在所述印刷操作过程中，通过沉积装置将材料沉积在基板上。设备的生产率和/或生产量可能受到该处理周期的周期时间的限制。

鉴于以上内容，克服了本领域中的至少一些问题的用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的新设备、太阳能电池生产设备、以及用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法是有益的。本公开内容的目标尤其在于提供能够减少处理周期的周期时间以增加生产率和生产量中的至少一个的设备和方法。

发明内容

鉴于以上内容，提供用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备、太阳能电池生产设备、以及用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法。本公开内容的另外的方面、益处以及特征从说明书以及附图中显而易见。

根据本公开内容的一个方面，提供用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备。所述设备包括工艺头部组件和驱动装置。所述工艺头部组件包括：一个或多个沉积装置，所述一个或多个沉积装置被配置为用于将所述材料从丝网传送到所述基板；和一个或多个材料处理装置，所述一个或多个材料处理装置用于处理所述丝网上的所述材料。所述驱动装置被配置为用于沿着基板支撑件在第一方向上移动所述工艺头部组件，以便在沉积工艺过程中传送和处理所述材料。

根据本公开内容的另一方面，提供一种太阳能电池生产设备。所述太阳能电池生产设备包括一个或多个沉积站，以及根据本文所述实施方式用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备。

根据本公开内容的另一方面，提供用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法。所述方法包括将具有一个或多个沉积装置和一个或多个材料处理装置的工艺头部组件沿着基板支撑件在第一方向上至少从第一位置移动到第二位置，以便使用一个或多个沉积装置中的至少一个沉积装置将所述材料从丝网传送至所述基板，并使用一个或多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置来执行所述丝网上的所述材料的处理，其中在所述工艺头部组件从所述第一位置移动到所述第二位置的期间执行所述传送和所述处理。

实施方式也涉及用于进行所公开方法的设备，并包括用于执行每个所描述的方法方面的设备部件。这些方法方面可以以硬件元件、由合适的软件编程的计算机、由上述两者的任何组合的方式而被执行，或以任何其它方式而被执行。此外，根据公开内容的实施方式还涉及用于操作所描述的设备的方法。用于操作所描述的设备的所述方法包含用于进行所述设备的每个功能而过的方法方面。

附图说明

因此，为了能够详细理解本公开内容的上述特征，上文所简要概述的本公开内容的更具体的描述可以参照实施方式进行。附图涉及本公开内容的各个实施方式，并且描述如下：

图1示出了根据本文所述实施方式的用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备的示意图；