[发明专利]微小突起的体积测定方法及液体材料的涂布方法

权利要求书

1.一种微小突起的体积测定方法，其特征在于，包括如下步骤：

利用白光干涉法测定微小突起的三维形状；

使用在测定所述三维形状的步骤中测定得到的高度来计算基准面的高度；

提取比所述基准面要高的部分来作为所述微小突起的突起顶点部；

检测提取出的所述突起顶点部的高度；

检测由所述突起顶点部和高度与所述基准面的高度不同的部位构成的区域中的外接四边形的横向尺寸、纵向尺寸、及所述横向尺寸与所述纵向尺寸的平均中的任一个来作为直径，其中该部位包含所述突起顶点部或与所述突起顶点部接触；以及

基于所述突起顶点部的高度与所述直径来计算所述微小突起的体积，

高度与所述基准面的高度不同的部位是包含所述突起顶点部或与所述突起顶点部接触的、因不发生干涉条纹而无法检测到高度的高度未检测部。

2.如权利要求1所述的微小突起的体积测定方法，其特征在于，

高度与所述基准面的高度不同的部位是比所述基准面要低的高度已检测部，所述高度已检测部包含所述突起顶点部。

3.如权利要求1或2所述的微小突起的体积测定方法，其特征在于，

检测所述高度的步骤包括检测所述突起顶点部的最大高度以作为所述突起顶点部的高度。

4.如权利要求1或2所述的微小突起的体积测定方法，其特征在于，

检测所述高度的步骤包括检测所述突起顶点部的最高部分和该最高部分附近的部分的平均高度或中间值以作为所述突起顶点部的高度。

5.如权利要求1或2所述的微小突起的体积测定方法，其特征在于，

所述微小突起是附着于基板的液滴。

6.如权利要求3所述的微小突起的体积测定方法，其特征在于，

所述微小突起是附着于基板的液滴。

7.如权利要求4所述的微小突起的体积测定方法，其特征在于，

所述微小突起是附着于基板的液滴。

8.如权利要求5所述的微小突起的体积测定方法，其特征在于，

所述液滴是通过涂布针、喷墨器和分配器中的任一个形成于所述基板上的液滴。

9.一种液体材料的涂布方法，使液体材料附着于涂布针的尖端部，并将所述涂布针配置在对象物上方的预先设定的位置，上下移动所述涂布针来对所述对象物涂布所述液体材料，从而形成由所述液体材料构成的液体材料层，所述液体材料的涂布方法的特征在于，包括如下步骤：

利用白光干涉法测定微小突起的三维形状；

比较检测出干涉光强度的包络线的第一个峰值的高度与基准面的高度，提取高于基准面的部分作为所述微小突起的突起顶点部；

检测提取出的所述突起顶点部的高度；

检测由所述突起顶点部和高度与所述基准面的高度不同的部位构成的区域中的外接四边形的横向尺寸、纵向尺寸、及所述横向尺寸与所述纵向尺寸的平均中的任一个来作为直径，其中该部位包含所述突起顶点部或与所述突起顶点部接触；

基于所述突起顶点部的高度与所述直径来计算所述微小突起的体积；以及

当计算所述微小突起的体积的步骤中计算出的所述体积小于阈值时，反复涂布所述液体材料直至涂布次数超过指定的次数，

高度与所述基准面的高度不同的部位是包含所述突起顶点部或与所述突起顶点部接触的、因不发生干涉条纹而无法检测到高度的高度未检测部。