[发明专利]微小突起的体积测定方法及液体材料的涂布方法

说明书

微小突起的体积测定方法包括如下步骤：利用白光干涉法测定微小突起的三维形状(S102)；比较检测出干涉光强度的包络线的第一个峰值的高度与基准面的高度，并提取高于基准面的部分作为微小突起的突起顶点部(S103)；检测提取出的突起顶点部的高度(S104)；检测由突起顶点部和高度与基准面的高度不同的部位构成的区域中的外接四边形的横向尺寸、纵向尺寸、或横向尺寸与纵向尺寸的平均的任一个来作为直径，其中该部位包含突起顶点部或与突起顶点部接触(S105)；以及基于突起顶点部的高度与直径计算微小突起的体积(S106)。

技术领域

本发明涉及微小突起的体积测定方法及液体材料的涂布方法。

背景技术

已知有检测由涂布装置所涂布的墨水的高度的方法。例如，根据日本专利特开2015-007564号公报(专利文献1)，其中记载了一种涂布装置，将物镜定位在通过在基板的表面涂布墨水而形成的墨水部分的上方，然后边移动Z载台边拍摄图像。对于构成通过拍摄而得到的图像的多个像素中的各个像素，涂布装置确定对比度值达到峰值的Z载台位置，基于所确定的Z载台位置确定墨水涂布部分的高度。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2015-007564号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

然而，专利文献1的图7(a)、10、11的干涉光的对比度在获得正反射光的平面等处较高，在难以获得正反射光的斜面等处较低。

专利文献1所记载的涂布机构能涂布高粘性的墨水。在高粘性墨水的情况下，涂布墨水与基板的接触角较大，因此无法在墨水的边缘获得正反射光，不会发生干涉条纹。因此，有时无法检测高度。专利文献1中所记载的体积计算公式是墨水涂布部分的高度的积分值，以能检测整个涂布部分的高度为前提。因此，在如上所述无法检测一部分涂布部分的高度时，难以计算体积。

一般而言，球形物体的体积Vol也可以根据下式(1)基于球形物体的半径与顶点高度来计算：

Vol＝(1/6)π×hp×(3R²+hp²)…(1)

其中，hp表示顶点高度，R表示半径。如上所述，在高粘性墨水的情况下，在墨水的边缘处接触角较大，不会发生干涉条纹，因此有时无法检测高度。在上述情况下，无法获得半径R，无法根据式(1)计算出体积Vol。

如上所述，在墨水具有高粘性且不发生干涉条纹，因此无法检测整个涂布部分的高度的情况下，无法基于该专利文献所述的表示三维形状的图像数据来直接检测液滴的体积。

因此，本发明的目的在于，提供一种微小突起的体积测定方法及液体材料的涂布方法，即使在液滴的边缘无法检测高度的情况下也能计算液滴的体积。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明的微小突起的体积测定方法包括如下步骤：利用白光干涉法测定微小突起的三维形状；比较检测出干涉光强度的包络线的第一个峰值的高度与基准面的高度，并提取高于基准面的部分作为微小突起的突起顶点部；检测提取出的突起顶点部的高度；检测由突起顶点部和高度与基准面的高度不同的部位构成的区域中的外接四边形的横向尺寸、纵向尺寸、及横向尺寸与纵向尺寸的平均中的任一个来作为直径，其中该部位包含突起顶点部或与突起顶点部接触；以及基于突起顶点部的高度与直径计算微小突起的体积。

高度与基准面的高度不同的部位优选是包含突起顶点部或与突起顶点部接触的高度未检测部。

高度与基准面的高度不同的部位优选是比基准面要低的高度已检测部，所述高度已检测部包含突起顶点部。

检测高度的步骤优选包括检测突起顶点部的最大高度以作为突起顶点部的高度。