[发明专利]热硬化性着色组合物及彩色滤光片的制造方法

权利要求书

1.一种热硬化性着色组合物，其用于固体摄像元件用彩色滤光片的制造，所述固体摄像元件用彩色滤光片包括对着色层通过干式蚀刻进行图案化而成的着色图案，所述热硬化性着色组合物的特征在于：

包含颜料(A)、分散剂(B)、热硬化性化合物(C)及溶剂(D)，

所述颜料(A)在所述热硬化性着色组合物的总固体成分中所占的比例为50质量％以上，且所述分散剂(B)包含具有酸性官能基的分散剂(b1)，所述具有酸性官能基的分散剂(b1)具有将包括(甲基)丙烯酸酯的乙烯性不饱和单体聚合而成的部位(b1-A)，所述部位(b1-A)的玻璃化温度的理论值为40℃以上，且所述热硬化性化合物(C)包含山梨糖醇的缩水甘油醚化环氧化合物。

2.根据权利要求1所述的热硬化性着色组合物，其特征在于，所述颜料(A)含有绿色颜料(a1)。

3.根据权利要求2所述的热硬化性着色组合物，其特征在于，所述绿色颜料(a1)含有选自颜料绿7、颜料绿36及颜料绿58中的至少一种。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的热硬化性着色组合物，其特征在于，所述溶剂(D)包含沸点为160℃以上的溶剂(d1)。

5.根据权利要求4所述的热硬化性着色组合物，其特征在于，所述沸点为160℃以上的溶剂(d1)为环己醇乙酸酯。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的热硬化性着色组合物，其特征在于，所述酸性官能基为芳香族羧基。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的热硬化性着色组合物，其特征在于，所述部位(b1-A)的玻璃化温度的理论值为80℃以上。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的热硬化性着色组合物，其特征在于，所述分散剂(B)还包含具有碱性官能基的分散剂(b2)。

9.一种固体摄像元件用彩色滤光片的制造方法，其特征在于包括：使用根据权利要求1至8中任一项所述的热硬化性着色组合物来形成着色层的步骤X、及对所述着色层通过干式蚀刻而进行图案化的步骤Y。

10.根据权利要求9所述的固体摄像元件用彩色滤光片的制造方法，其特征在于，所述形成着色层的步骤X包括：形成包含所述热硬化性着色组合物的涂膜的步骤X-1、以及使所述涂膜热硬化而获得所述着色层的步骤X-2，

所述通过干式蚀刻而进行图案化的步骤Y包括：在所述着色层上形成光致抗蚀剂层的步骤Y-1、通过曝光及显影而对所述光致抗蚀剂层进行图案化以获得抗蚀剂图案的步骤Y-2、通过将所述抗蚀剂图案用作蚀刻掩模的干式蚀刻，对所述着色层进行图案化以形成着色图案的步骤Y-3、及使剥离液与所述抗蚀剂图案接触以自所述着色图案去除所述抗蚀剂图案的步骤Y-4。

11.根据权利要求10所述的固体摄像元件用彩色滤光片的制造方法，其特征在于，所述剥离液包含选自由N-甲基吡咯烷酮、二甲基亚砜及单乙醇胺所组成的群组中的至少一者。