[发明专利]热硬化性着色组合物及彩色滤光片的制造方法

说明书

本发明提供一种对剥离液的耐性优异的固体摄像元件用彩色滤光片热硬化性着色组合物及彩色滤光片的制造方法。本发明的课题利用一种热硬化性着色组合物来解决，其用于固体摄像元件用彩色滤光片的制造，所述固体摄像元件用彩色滤光片包括对着色层通过干式蚀刻进行图案化而成的着色图案，所述热硬化性着色组合物包含：颜料(A)、分散剂(B)、热硬化性化合物(C)及溶剂(D)，所述颜料(A)于所述热硬化性着色组成物的总固体成分中所占的比例为50质量％以上，且所述分散剂(B)包含具有酸性官能基的分散剂(b1)和/或具有碱性官能基的分散剂(b2)，且所述热硬化性化合物(C)包含山梨糖醇的缩水甘油醚化环氧化合物。

技术领域

本发明涉及一种用于固体摄像元件的彩色滤光片用热硬化性着色组合物，尤其涉及一种对薄膜、高精细而言有用的热硬化性着色组合物。另外，本发明涉及一种使用所述彩色滤光片用热硬化性着色组合物而形成的彩色滤光片的制造方法。

背景技术

在固体摄像元件中，设置有在半导体基板等基板上以2维排列了红色像素、绿色像素、蓝色像素等多种颜色的有机像素的彩色滤光片。在所述固体摄像装置中，随着近年来像素尺寸缩小，对颜色分离的性能要求变得严格，为了维持彩色深浅(color shading)特性、防止混色等装置特性，在彩色滤光片所需求的性能中，对薄膜化、矩形化及在各有机像素之间消除颜色彼此重合的重叠(overlap)区域等的性能提出了要求。

具体而言，在固体摄像元件用的彩色滤光片中，有实现如下所述那样的微小尺寸化的倾向：关于有机图案的薄层化，例如厚度成为1μm以下，关于像素图案尺寸，例如厚度成为2μm以下(例如0.5μm～2.0μm)。

尤其最近，因固体摄像元件用彩色滤光片的进一步高精细化的要求，开始对例如1.0μm图案以下的形成能力进行调查，在现有的光刻法中，难以避免对彩色滤光片的薄膜与解析力的取舍(tradeoff)。

相对于此，提出了通过干式蚀刻(dry etching)对有机图案进行加工。

然而，在通过干式蚀刻进行加工的情况下，需要利用剥离液来剥离在干式蚀刻处理之后所残留的光致抗蚀剂(photoresist)，存在因所述剥离液而有机膜层受到损伤的问题。

发明内容

本发明是有鉴于所述问题点而成，其目的在于提供一种能够抑制剥离光致抗蚀剂时的有机膜层损伤的固体摄像元件用彩色滤光片热硬化性着色组合物、及使用其的彩色滤光片的制造方法。

本发明人等人为解决所述诸问题而反复进行了努力研究，结果发现，通过使用包含特定的热硬化性化合物(C)的固体摄像元件用彩色滤光片热硬化性着色组合物，可成为充分具备耐剥离液性者，并基于所述发现完成了本发明。

即，本发明涉及一种热硬化性着色组合物，其用于固体摄像元件用彩色滤光片的制造，所述固体摄像元件用彩色滤光片包括对着色层通过干式蚀刻进行图案化而成的着色图案，所述热硬化性着色组合物包含：颜料(A)、分散剂(B)、热硬化性化合物(C)及溶剂(D)，所述颜料(A)在所述热硬化性着色组合物的总固体成分中所占的比例为50质量％以上，且所述分散剂(B)包含具有酸性官能基的分散剂(b1)和/或具有碱性官能基的分散剂(b2)，且所述热硬化性化合物(C)包含山梨糖醇的缩水甘油醚化环氧化合物。

本发明涉及上述中所记载的热硬化性着色组合物，所述颜料(A)含有绿色颜料(a1)。

本发明涉及上述中所记载的热硬化性着色组合物，所述绿色颜料含有选自颜料绿(pigment green)7、颜料绿36及颜料绿58中的至少一种。

本发明涉及上述中所记载的热硬化性着色组合物，所述溶剂(D)包含沸点为160℃以上的溶剂(d1)。

本发明涉及上述中所记载的热硬化性着色组合物，所述沸点为160℃以上的溶剂(d1)为环己醇乙酸酯。