[发明专利]贴合器件的真空贴合装置

权利要求书

1.一种贴合器件的真空贴合装置，其特征在于，具备：

第一保持部件，具有与第一工件接触的第一工件保持面；

第二保持部件，与所述第一工件保持面隔着贴合空间而对置并且具有第二工件的第二工件保持面；

接触分离用驱动部，使所述第一保持部件和所述第二保持部件中的任一个或两者相对靠近移动；

室压调节部，从所述贴合空间将气体排出至外部空间以将所述贴合空间从大气气氛调节至减压气氛；及

控制部，对所述接触分离用驱动部及所述室压调节部进行操作控制，

所述第一保持部件具有用于将所述第一工件装卸自如且不会将所述第一工件掉落地悬吊的保持卡盘，

所述第一工件保持面和所述第二工件保持面中的任一个或两者具有：多个凸状部，以与所述第一工件和所述第二工件中的一个或两者的非贴合面对置而装卸自如地接触的方式形成；及多个凹槽部，相邻于所述多个凸状部以与所述非贴合面对置的方式形成，

所述多个凸状部及所述多个凹槽部遍及所述第一工件保持面和所述第二工件保持面中的任一个或两者的整体，使所述多个凸状部及所述多个凹槽部以向在所述非贴合面内交叉的方向具有各向同性的配置排列，

在所述非贴合面与所述多个凸状部接触的状态下，所述多个凹槽部为分别连通所述贴合空间与所述外部空间的通气路，

在通过所述室压调节部对所述贴合空间进行减压时及将其向大气开放时，所述控制部以使所述气体通过所述通气路向在所述非贴合面内交叉的方向分别相同地流动的方式进行控制。

2.根据权利要求1所述的贴合器件的真空贴合装置，其特征在于，

所述多个凹槽部分别线性连续，所述多个凹槽部形成为方格状。

3.根据权利要求1或2所述的贴合器件的真空贴合装置，其特征在于，

所述第一保持部件及所述第二保持部件以在上下方向上对置的方式配置，下方的所述第二保持部件的所述第二工件保持面具有下侧的所述第二工件的定位部。

4.根据权利要求3所述的贴合器件的真空贴合装置，其特征在于，

所述定位部为在所述第二工件保持面上设置于所述多个凸状部中的至少一处以上的吸附机构或粘接机构。