[发明专利]激光加工装置及激光输出装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于，

具备：

装置框架；

支承部，被安装于所述装置框架，且支承加工对象物；

激光输出部，被安装于所述装置框架；以及

激光聚光部，以相对于所述激光输出部能够移动的方式被安装于所述装置框架，

所述激光输出部具有出射激光的激光光源，

所述激光聚光部具有：

反射型空间光调制器，调制并反射所述激光；

聚光光学系统，相对于所述加工对象物将所述激光聚光；以及

成像光学系统，构成所述反射型空间光调制器的反射面与所述聚光光学系统的入射瞳面处于成像关系的两侧远心光学系统，

所述激光聚光部还具有：

第1镜，将所述激光朝向所述反射型空间光调制器进行反射；以及

第2镜，将通过了所述成像光学系统的所述激光朝向所述聚光光学系统进行反射，

来自所述激光输出部的所述激光的出射方向与所述激光聚光部的移动方向一致，

所述支承部以能够沿着与所述激光聚光部的移动方向垂直的平面移动的方式被安装于所述装置框架，

所述第1镜将沿着所述激光聚光部的移动方向入射的所述激光沿着垂直于所述激光聚光部的移动方向的平面反射，

所述反射型空间光调制器将沿着所述平面入射的所述激光沿着所述平面反射，

所述第2镜将沿着所述平面入射的所述激光沿着所述激光聚光部的移动方向反射。

2.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

所述激光输出部进一步具有使所述激光平行化的激光平行化部。

3.如权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

所述激光聚光部进一步具有：壳体，在内部设定有从所述第1镜经由所述反射型空间光调制器、所述成像光学系统以及所述第2镜而到达所述聚光光学系统的所述激光的光路，

在所述壳体，设置有使从所述激光输出部出射的所述激光入射到所述壳体内的光入射部。

4.如权利要求3所述的激光加工装置，其特征在于，

所述第1镜以在所述激光聚光部的移动方向与所述光入射部相对的方式配置于所述壳体内，

所述第1镜将从所述光入射部入射到所述壳体内的所述激光朝向所述反射型空间光调制器进行反射。

5.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

所述支承部经由第1移动机构而被安装于所述装置框架，

所述激光聚光部经由第2移动机构而被安装于所述装置框架。