[发明专利]激光加工装置及激光输出装置

说明书

激光加工装置(200)具备：装置框架(210)、被安装于装置框架且支承加工对象物(1)的支承部(230)、被安装于装置框架的激光输出部(300)、以及以可相对于激光输出部移动的方式被安装于装置框架的激光聚光部(400)。激光输出部具有出射激光的激光光源，激光聚光部具有：调制并反射激光的反射型空间光调制器、相对于加工对象物将激光聚光的聚光光学系统、以及构成反射型空间光调制器的反射面与聚光光学系统的入射瞳面处于成像关系的两侧远心光学系统的成像光学系统。

技术领域

本发明涉及激光加工装置及激光输出装置。

背景技术

在专利文献1中记载有一种激光加工装置，其具备保持工件的保持机构、及对保持机构所保持的工件照射激光的激光照射机构。在该激光加工装置的激光照射机构中，被配置于从激光振荡器到达聚光透镜的激光的光路上的各结构被配置于1个壳体内，该壳体被固定在立设于激光加工装置的基座的壁部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5456510号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在上述那样的激光加工装置中，有时使将激光聚光的聚光光学系统侧的结构相对于加工对象物进行移动。另一方面，在这样的情况下，抑制装置的大型化也极为重要。

本发明的第1方式的目的在于，提供可抑制装置的大型化且使聚光光学系统侧的结构相对于加工对象物进行移动的激光加工装置。

此外，在上述那样的激光加工装置中，有时适于加工的激光的波长对应于加工对象物的规格、加工条件等而不同。

本发明的第2方式的目的在于，提供可使用激光的波长彼此不同的多个激光光源的激光加工装置。

此外，在上述那样的激光加工装置中，有时设置有将激光进行调制并进行反射的反射型空间光调制器。在这样的情况下，将反射型空间光调制器的反射面上的激光的像(反射型空间光调制器中调制后的激光的像)精度良好地传像(成像)于聚光光学系统的入射瞳面极为重要。

本发明的第3方式的目的在于，提供可将反射型空间光调制器的反射面上的激光的像容易且精度良好地传像至聚光光学系统的入射瞳面的激光加工装置。

此外，在上述那样的激光加工装置中，有时设置有将激光进行调制并进行反射的反射型空间光调制器。在这样的情况下，将反射型空间光调制器的反射面上的激光的像(反射型空间光调制器中调制后的激光的像)精度良好地传像(成像)至聚光光学系统的入射瞳面极为重要。

本发明的第4方式的目的在于，提供可将反射型空间光调制器的反射面上的激光的像精度良好地传像至聚光光学系统的入射瞳面的激光加工装置。

此外，在上述那样的激光加工装置中，有时使用传感器来取得加工对象物的激光入射面的位移数据，该传感器被设置于与将激光相对于加工对象物聚光的聚光光学系统不同轴。另一方面，在这样的情况下，抑制装置的大型化也极为重要。

本发明的第5方式的目的在于，提供可抑制装置的大型化且取得加工对象物的激光入射面的位移数据的激光加工装置。

此外，在上述那样的激光加工装置中，有时适于加工的激光的波长对应于加工对象物的规格、加工条件等而不同。在这样的情况下，若可将包含激光光源的部分相对于激光加工装置容易地进行装卸，则极为有效。

本发明的一方式的目的在于，提供可相对于激光加工装置容易地进行装卸的激光输出装置。

解决课题的技术手段