[发明专利]环境传感器测试方法

权利要求书

1.一种用于测试一批次环境传感器以确定该批次环境传感器的适用性的方法，

其中所述环境传感器包括气体传感器，

其中每个气体传感器包括：

电介质膜，形成在包括被蚀刻的部分的半导体基板上；

加热器，形成在所述电介质膜中；

气体感测电极，形成在所述电介质膜上；以及

气体敏感层，形成在所述气体感测电极上；

其中，该方法包括：

通过在气体的存在下执行至少一个气体传感器的多个环境测试来确定环境参数范围；

对所述至少一个气体传感器执行多个电气测试序列，以测量所述至少一个气体传感器的电响应；

将从所述至少一个气体传感器所测量的电响应与所述至少一个气体传感器的环境参数范围相关联，以定义相关的电气测试限量；

对所述批次的气体传感器执行多个电气测试序列，以测量所述批次的气体传感器的电响应，其中用于确定所述适用性的所述气体传感器的测试通过专门对所述批次的气体传感器的每一个气体传感器的加热器施加电脉冲以及通过专门测量所述批次的气体传感器的每一个气体传感器的所述气体感测电极间和加热器间的电响应来执行，以及

在所测量的电响应在所述相关的电气测试限量内的情况下，确定所述批次的气体传感器的适用性；以及

其中所述多个电气测试序列包括以下中的多于一个：

- 对所述加热器施加低电压并测量加热器电流以及传感器电阻，并且

对所述加热器施加高电压并测量加热器电流以及传感器电阻，

- 对所述加热器施加电压并在延迟后测量加热器电流以及传感器电阻，并且

继续施加相同电压并在进一步的延迟后测量加热器电流以及传感器电阻，

- 对所述加热器施加正弦电压一固定持续时间并测量加热器电流以及传感器的电阻响应，以及

- 对所述加热器施加低电压，在传感器上施加扫频电压并在每个电压步长测量加热器电流以及传感器电流，并且

对所述加热器施加高电压，在传感器上施加扫频电压并在每个电压步长测量加热器电流以及传感器电流。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述批次环境传感器不直接在环境条件下被测试。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中执行所述多个电气测试序列的步骤是由自动测试设备执行的并且所述电响应是由所述自动测试设备测量的。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述电响应提供存储在所述环境传感器内的校准值。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述环境参数范围根据在空气中的传感器电阻变化以及在所述气体中的传感器电阻变化而被确定，以定义所述相关的电气测试限量。

6.根据权利要求5所述的方法，其中将从所述批次环境传感器所测量的电响应与所述相关的电气测试限量进行比较。

7.根据权利要求6所述的方法，其中在从所述批次环境传感器所测量的电响应在所述相关的电气测试限量内的情况下，确定所述气体传感器的所述适用性。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述气体传感器是金属氧化物气体传感器。

9.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述批次环境传感器在封装前以晶圆形式或任何其他形式被测试。

10.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述批次环境传感器以晶圆级封装格式被测试。

11.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述批次环境传感器以封装条格式被测试。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述封装条面向下被支撑在切割带上，该切割带进一步被薄膜框架所支撑。

13.根据权利要求11所述的方法，其中所述封装条包括彼此之间电隔离的多个环境传感器。