[发明专利]环境传感器测试方法

说明书

一种用于测试一批次环境传感器以确定该批环境传感器的适用性的方法，该方法包括：对所述一批环境传感器的加热器输入执行多个电气测试序列以测量所述批次环境传感器的传感器输出的电响应；对于至少一个环境传感器，将测量的电响应与测量的环境响应相关联以定义相关的电气测试限量；以及在测量的电响应在所述相关的电气测试限量内的情况下确定所述批次环境传感器的适用性。

技术领域

本发明涉及用于测试批次环境传感器的方法以及环境传感器测试系统。

背景技术

环境传感器的筛选传统上要求运行设备通过一系列涉及暴露于环境条件的测试。例如，对于气体传感器，测试涉及暴露于分析物气体。这种测试可能花费数小时、消耗气体，并依赖于专业测试设备和实验室，以及手动处理或专业处理设备，因此不适合大批量和/或低成本的生产。

目前唯一的技术是使用大量的气体测试来筛选气体传感器产品。这些利用了不容易且成本显著增加以支持大批量生产的专业测试设备。另一种选择是使用标准样品参考传感器测试解决方案，它仍然涉及将分析物气体递送到测试系统。

类似地，例如湿度传感器和/或压力传感器的其他环境传感器也需要在相应环境条件中运行这些设备，并且因此这些传感器具有如上所述关于气体传感器的相同的问题。

发明内容

本发明的实施方式对环境传感器产品应用订制的电气测试技术而无需漫长和昂贵的产品性能测试。本发明的实施方式还将晶圆薄膜框架处理技术应用于封装部分(其之前需要专业条测试设备)的条。使用薄膜框架的额外益处在于所述部分可以通过使用锯割过程切割任何连接的金属导体而很容易地被电隔离。

根据本发明的一个方面，提供了一种用于测试批次环境传感器以确定该批次环境传感器的适用性的方法，该方法包括：对所述批次环境传感器的传感器输入执行多个电气测试序列，以测量所述批次环境传感器的传感器输出的电响应；将从所述批次环境传感器所测量的电响应与至少一个环境传感器的预定环境参数范围相关联，以定义相关的电气测试限量；以及在所测量的电响应在所述相关的电气测试限量内的情况下，确定所述批次环境传感器的适用性。

所述预定环境参数范围通过在环境条件下执行所述至少一个传感器的多个测试确定。此处，至少一个传感器可以形成所述批次传感器的部分，但是所述至少一个传感器可不对应于该批次的所有传感器。在其上执行环境测试的至少一个传感器可以包括多个传感器，所述多个传感器可以完全地与所述批次传感器分离。在对所述至少一个传感器执行环境测试序列后，在相同传感器上运行所述电气测试序列。然后，电气测试限量可以基于传感器(其也用于执行环境测试，例如在气体下)上的电气测试系列的结果设置。该相关过程可以以相反序列执行，即先执行电气测试并且之后执行环境测试。

本发明的实施方式实现对大量的可生产的批次传感器执行电气测试而不需要在环境条件(例如在气体、湿度水平或压力水平)下测试他们。所述相关的电气测试限量根据在某些数量的传感器(但不是准备好运输的所有批次传感器)上执行标准环境测试获得，并且之后仅将所述电气测试结果与所述相关的电气测试限量比较。仅对环境传感器执行电气测试是有优势的，因为其更快、经济实用。

用于确定所述适用性的所述环境传感器的测试通过专门对所述批次环境传感器的每一个传感器施加电脉冲以及通过专门测量所述批次环境传感器的电响应来执行。

所述批次环境传感器可以不直接在环境条件下测试。如之前所述，仅某些数量的传感器(例如来自于批次或采样批次)被进行环境和电气测试以确定所述相关的电气测试限量。

执行所述多个电气测试序列的步骤可以是由自动测试设备执行的，并且所述电响应是由所述自动测试设备测量的。

所述电响应可以提供存储在所述环境传感器内的校准值。