[发明专利]多芯片组件的制造在审
申请号: | 201780008676.7 | 申请日: | 2017-01-26 |
公开(公告)号: | CN108496250A | 公开(公告)日: | 2018-09-04 |
发明(设计)人: | M.齐齐尔施珀格;T.格布尔;S.艾歇尔 | 申请(专利权)人: | 奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司 |
主分类号: | H01L25/075 | 分类号: | H01L25/075;H01L33/00;H01L33/44;H01L33/48;H01L33/62;H01L33/50;H01L33/52 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张涛;刘春元 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多芯片组件 芯片组装 表面安装 阻焊 半导体芯片 导体结构 金属导体 壳体材料 连接区域 制造 暴露 | ||
1.一种用于制造可表面安装的多芯片组件(101、102、103、104、105)的方法,包括:
提供芯片布置,其中所述芯片布置包括在后侧处暴露的金属导体结构(110)、多个半导体芯片(150)和壳体材料(160);和
在所提供的所述芯片布置的后侧上形成阻焊涂层(170),其中所述阻焊涂层(170)分离所述导体结构(110)的连接区域(121)。
2.根据权利要求1所述的方法,
其中,提供所述芯片布置包括以下:
提供金属初始层(130);
将所述半导体芯片(150)布置在所述初始层(130)上;
将所述壳体材料(160)施加在所述初始层(130)上;和
在布置所述半导体芯片(150)并通过产生切割所述初始层(130)的切口(135、136)而施加所述壳体材料(160)之后形成所述导体结构(110)。
3.根据权利要求2所述的方法,
其中,所提供的所述初始层(130)包括小于150μm的厚度。
4.根据权利要求2和3中任一项所述的方法,
其中,在形成所述阻焊涂层(170)的过程期间,所述芯片布置的所述后侧至少在所述切口(135,136)的区域中被所述阻焊涂层(170)覆盖。
5.根据权利要求2至4中任一项所述的方法,
其中,所提供的所述初始层(130)包括在前侧处或在后侧处的凹陷(131、132)。
6.根据权利要求2至5中任一项所述的方法,
其中,半导体芯片(150)的后侧通过产生所述切口(136)而在局部区域中予以暴露,并随后被所述阻焊涂层(170)覆盖。
7.根据权利要求1所述的方法,
其中,提供所述芯片布置包括以下:
提供构成所述导体结构(110)的金属引线框架(140);
将所述半导体芯片(150)布置在所述引线框架(140)上;和
将所述壳体材料(160)施加在所述引线框架(140)上。
8.根据前述权利要求中任一项所述的方法,
其中,在形成所述阻焊涂层(170)的过程期间,所述导体结构(110)被所述阻焊涂层(170)部分地覆盖。
9.根据前述权利要求中任一项所述的方法,
其中,所述阻焊涂层(170)形成为具有封闭所述连接区域(121)的形状。
10.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,所述半导体芯片(150)是光电子半导体芯片。
11.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,提供所述芯片布置是以这样的方式执行的:使得所述壳体材料(160)被布置在所述导体结构(110)上并且与所述半导体芯片(150)毗连。
12.根据权利要求5所述的方法,
其中,在所述凹陷(131、132)的区域中产生用于形成所述导体结构(110)的所述切口(135、136)。
13.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,以这样的方式制造所述多芯片组件:使得所述连接区域(121)包括大于100μm的距离并且所述半导体芯片(150)包括小于100μm的距离。
14.一种可表面安装的多芯片组件(101、102、103、104、105),包括在后侧处可接近的导体结构(110)、多个半导体芯片(150)、壳体材料(160)和在后侧处形成的阻焊涂层(170),其中所述阻焊涂层(170)分离所述导体结构(110)的连接区域(121)。
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