[发明专利]光调制器

说明书

本发明提供一种光调制器，其能够使由终端电阻产生的热量有效地分散、放出，提高包含终端电阻的终端基板的可靠性，能够降低热量对于光波导的影响。光调制器具备：光波导基板，形成有光波导；信号电极，设置于该光波导基板，向该光波导施加电场；终端电阻，形成为该信号电极的终端；及终端基板，配置有该终端电阻，所述光调制器的特征在于，对于一个该终端基板，至少具有多个该终端电阻，为了抑制由该终端电阻产生的热量集中于该终端基板内的局部部分的情况或者由该终端电阻产生的热量向该光波导基板传导的情况，使设置于该终端基板且与该终端电阻电连接的接地电极形成得比0.1μm厚。

技术领域

本发明涉及光调制器，特别是涉及具备终端基板的光调制器。

背景技术

近年来，在高速/大容量光纤通信系统中，利用形成有光波导的基板的光调制器及装入有这样的光调制器的光发送装置被较多使用。其中，将具有电光效应的LiNbO₃(称为“LN”)使用于基板的光调制器与InP、Si、GaAs等半导体系材料的调制器相比，广泛地使用于高速/大容量光纤通信系统。使用了该LN的光调制器形成有由将光封入于LN基板中并进行引导的光波导构成的马赫-曾德尔型光波导、向该调制部施加电场的电极。而且，电极包括基于从光调制器的外部输入的数据信号来施加用于调制光的高频信号(称为“调制信号”)的信号电极部、为了进行与DC漂移或温度漂移等引起的动作点变化对应的控制而施加高频振动信号和DC电压的DC电极部等。

受到近年来的传送容量的增大化的潮流的影响，高速/大容量光纤通信系统用的光调制器的调制方式从以往的强度调制(On-Off keying)等开始，使用了相位调制的QPSK(Quadrature Phase Shift Keying)、DP-QPSK(Dual Polarization-Quadrature PhaseShift Keying)等多值调制或在多值调制中取入了偏振复用的传送格式成为主流。

如图1所示，实现DP-QPSK调制的光调制器(称为“DP-QPSK光调制器”)具有在LN等的基板(光波导基板)1配置有2个由2个马赫-曾德尔型光波导构成的嵌套式光波导的光波导(未图示)构造(将具有该构造的光波导元件称为“DP-QPSK芯片”)。此外，为了向构成各马赫-曾德尔型光波导的调制部施加调制信号，而在光波导基板1上具备多个信号电极2。经由输入用连接器4向各信号电极2输入数据信号。而且，在各信号电极2的终端连接有终端电阻7。LN等的基板(光波导基板)1及配置有终端电阻的终端基板3配置于壳体6内，被封装化。

在各信号电极的终端设有终端电阻时，如图1那样，存在将终端电阻7在同一终端基板3内设置多个来实现封装化的DP-QPSK光调制器的小型化的情况。

向DP-QPSK光调制器的信号电极施加的调制信号的频率是微波带的高频信号，信号电极使用行波型的电极构造。调制信号的电能几乎全部由终端电阻消耗，由终端基板3内的终端电阻(电阻膜)转换成热量。由于产生的热量而终端电阻自身的特性劣化，存在损害DP-QPSK光调制器的可靠性等问题。

DP-QPSK光调制器具有4个调制部。为了通过本结构进行QPSK调制，需要使用具有单一的马赫-曾德尔型光波导的光调制器(称为“单一调制器”)并通过进行以往的强度调制时的电压振幅的2倍的电压振幅(电力为4倍)进行驱动。因此，由DP-QPSK光调制器消耗的电力与以往的单一调制器的情况相比成为16倍以上，因此发热量也成为16倍以上。而且，在进行光调制器的小型化的情况下，需要将终端基板3接近于光波导基板1配置。由终端电阻产生的热量会影响光波导元件而产生温度漂移。而且，终端电阻自身的发热成为发生终端电阻自身的时效老化或破裂、剥离等的要因，出现损害光调制器及使用了该光调制器的光发送装置的可靠性等问题。