[发明专利]用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备及方法

权利要求书

1.一种用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备，所述设备包括：

工艺头部组件，所述工艺头部组件能够至少在第一方向上移动，所述工艺头部组件包括：

一个或更多个沉积装置，所述一个或更多个沉积装置被配置为用于将所述材料从丝网传送到所述基板；和

两个或更多个材料处理装置，所述两个或更多个材料处理装置被配置为用于处理所述丝网上的所述材料以用于在所述丝网上提供基本上均匀的所述材料的膜，

其中所述设备被配置为在沉积工艺的持续时间的至少一部分期间同时传送和处理所述材料，并且

其中在所述工艺头部组件的移动期间当所述一个或更多个沉积装置将所述材料从所述丝网传送到所述基板时，正在处理所述丝网上的所述材料的至少一个材料处理装置与所述丝网之间的距离被调整或控制在0.01与2mm之间的范围中，并且/或者在所述工艺头部组件的移动期间当所述一个或更多个沉积装置将所述材料从所述丝网传送到所述基板时，正在处理所述丝网上的所述材料的至少一个材料处理装置与所述丝网之间的距离被实时调整在0.01与2mm之间的范围中，以确保所述至少一个材料处理装置不会干扰所述丝网。

2.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述一个或更多个沉积装置是两个或更多个沉积装置，并且其中所述两个或更多个材料处理装置被布置在所述两个或更多个沉积装置之间。

3.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述两个或更多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置具有刀刃，所述刀刃被配置为用于处理所述丝网上的所述材料，并且其中所述刀刃在不同于所述第一方向的方向上不是直的。

4.如权利要求3所述的设备，其特征在于，所述方向垂直于所述第一方向。

5.如权利要求3所述的设备，其特征在于，所述刀刃具有第一边缘部分、第二边缘部分以及在所述第一边缘部分和所述第二边缘部分之间的中间部分，并且其中所述第一边缘部分和所述第二边缘部分相对于所述中间部分倾斜。

6.如权利要求1所述的设备，进一步包括驱动装置，所述驱动装置被配置为用于沿着基板支撑件在所述第一方向上和在与所述第一方向相反的第二方向上移动所述工艺头部组件。

7.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备被配置为用于在所述第一方向上移动所述工艺头部组件的过程中使用所述两个或更多个材料处理装置中的第一材料处理装置处理所述丝网上的所述材料，并且其中所述设备被配置为用于在与所述第一方向相反的第二方向上移动所述工艺头部组件的过程中使用所述两个或更多个材料处理装置中的第二材料处理装置处理所述丝网上的所述材料。

8.如权利要求1所述的设备，进一步包括一个或更多个第一致动器，所述一个或更多个第一致动器被配置为调整所述两个或更多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置相对于所述丝网的距离和角度。

9.如权利要求8所述的设备，其中所述一个或更多个第一致动器包括第一致动器单元和第二致动器单元，所述第一致动器单元被配置为调整所述两个或更多个材料处理装置中的第一材料处理装置相对于所述丝网的第一距离和第一角度，所述第二致动器单元被配置为调整所述两个或更多个材料处理装置中的第二材料处理装置相对于所述丝网的第二距离和第二角度。

10.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述丝网设置在基板支撑件与所述工艺头部组件之间，其中所述一个或更多个沉积装置包括刮板，并且其中所述刮板被配置为与所述丝网接触以进行印刷，并且其中所述一个或更多个沉积装置相对于所述基板支撑件成60°至70°的角度。