[发明专利]用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备及方法有效
申请号: | 201780012397.8 | 申请日: | 2017-04-28 |
公开(公告)号: | CN109196664B | 公开(公告)日: | 2022-10-28 |
发明(设计)人: | 路易吉·德·桑蒂;安德列·巴斯尼;达维德·科莱 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;B41F15/42 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 意大利圣比亚*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 材料 丝网 印刷 太阳能电池 制造 中的 基板上 设备 方法 | ||
提供了用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造的基板(10)上的设备(100)。所述设备(100)包括工艺头部组件(110),所述工艺头部组件能够至少在第一方向上移动,并且所述工艺头部组件包括:一个或更多个沉积装置(120),所述一个或更多个沉积装置被配置为用于将所述材料从丝网(154)传送到所述基板(10);和两个或更多个材料处理装置(130),所述两个或更多个材料处理装置用于处理所述丝网(154)上的所述材料。
技术领域
本发明的实施方式涉及用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备、太阳能电池生产设备、以及用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法。
背景技术
太阳能电池是将阳光直接转换成电力的光伏器件。在这个领域内,已知使用沉积技术,具体地是印刷技术在晶体硅基底上生产太阳能电池,从而在太阳能电池的前表面上实现选择性发射器结构。处理周期可包括至少一个印刷操作和任选的另一材料处理操作,在所述印刷操作过程中,通过沉积装置将材料沉积在基板上。设备的生产率和/或生产量可能受处理周期的周期时间的限制。
鉴于以上内容,克服了本领域中的至少一些问题的用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的新设备、太阳能电池生产设备、以及用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法是有益的。本发明的目标尤其在于提供能够减少处理周期的周期时间以增加生产率和生产量中的至少一个的设备和方法。
发明内容
鉴于以上内容,提供用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备、太阳能电池生产设备、以及用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法。本发明的另外的方面、益处以及特征从权利要求书、说明书以及附图中显而易见。
根据本发明的一个方面,提供用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备。所述设备包括工艺头部组件,所述工艺头部组件能够至少在第一方向上移动。所述工艺头部组件包括:一个或更多个沉积装置,所述一个或更多个沉积装置被配置为用于将材料从丝网传送到基板;和两个或更多个材料处理装置,所述两个或更多个材料处理装置用于处理丝网上的材料。
根据本发明的另一方面,提供用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备。所述设备包括工艺头部组件,所述工艺头部组件能够至少在第一方向上移动。所述工艺头部组件包括:一个或更多个沉积装置,所述一个或更多个沉积装置被配置为用于将材料从丝网传送到基板;和一个或更多个材料处理装置,所述一个或更多个材料处理装置用于处理丝网上的材料。
根据本发明的又一方面,提供用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备。所述设备包括工艺头部组件,所述工艺头部组件能够至少在印刷方向上移动。所述工艺头部组件包括一个或更多个材料处理装置,其中所述一个或更多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置具有刀刃(blade),所述刀刃被配置为用于处理材料,并且其中所述刀刃在基本上垂直于所述印刷方向的方向上不是直的。
根据本发明的另一方面,提供一种太阳能电池生产设备。所述太阳能电池生产设备包括一个或更多个沉积站,以及根据本文所述实施方式用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备。
根据本发明的另一方面,提供一种用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法。所述方法包括:沿着基板支撑件在第一方向上将具有一个或更多个沉积装置和两个或更多个材料处理装置的工艺头部组件至少从第一位置移动到第二位置,以便使用所述一个或更多个沉积装置中的至少一个沉积装置将所述材料从丝网传送到所述基板并且使用所述两个或更多个材料处理装置中的第一材料处理装置执行对所述丝网上的所述材料的处理。
各实施方式亦涉及用于执行所披露的方法的设备,并且包括用于执行每个所述方法方面的设备部件。这些方法方面可藉由硬件部件、由适当软件编程的计算机、两者的任何结合或任何其他方式执行。再者,根据本公开内容的实施方式亦涉及用于操作所述设备的方法。用于操作所述设备的方法包括用于执行设备的各个功能的方法方面。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的