[发明专利]致动器系统和光刻设备

权利要求书

1.一种致动器系统，配置成用于定位物体，所述致动器系统包括：

压电式致动器，包括致动器接触表面，其中所述压电式致动器配置成经由所述致动器接触表面将力施加至所述物体上，和

光学位置传感器，配置成测量所述致动器接触表面的位置，

其中所述压电式致动器包括透明压电材料，以及

其中所述光学位置传感器配置成用于使光束穿过所述透明压电材料透射至所述致动器接触表面。

2.根据权利要求1所述的致动器系统，其中所述透明压电材料是LiNBO₃。

3.根据权利要求1或2所述的致动器系统，其中所述光束穿过所述透明压电材料的透射方向对应于所述压电式致动器的致动方向。

4.根据权利要求1或2所述的致动器系统，其中所述光学位置传感器包括布置成用于提供测量束和参考束的干涉仪，其中所述光束包括所述测量束。

5.根据权利要求4所述的致动器系统，其中所述透明压电材料在所述压电式致动器的致动方向上从第一压电材料表面延伸至第二压电材料表面，

其中所述光学位置传感器配置成使所述参考束在所述第一压电材料表面上被反射，和

其中所述光学位置传感器配置成使所述测量束从所述第一压电材料表面穿过所述透明压电材料传播至所述第二压电材料表面，和

其中所述光学位置传感器配置成使所述测量束在所述第二压电材料表面处反射回至所述第一压电材料表面。

6.根据权利要求4所述的致动器系统，包括分束器，其中所述透明压电材料在所述压电式致动器的致动方向上从第一压电材料表面延伸至第二压电材料表面，

其中所述第一压电材料表面布置成面对所述分束器，

其中所述光学位置传感器配置成使所述测量束从所述分束器经由所述第一压电材料表面透射穿过所述透明压电材料并且使所述测量束在所述第二压电材料表面处被反射。

7.根据权利要求4所述的致动器系统，其中所述透明压电材料在所述压电式致动器的致动方向上从第一压电材料表面延伸至第二压电材料表面，

其中所述第一压电材料表面和所述第二压电材料表面相对彼此定向成一角度，并且所述第一压电材料表面和所述第二压电材料表面各自布置成在所述测量束传播穿过所述透明压电材料时反射所述测量束。

8.根据权利要求5所述的致动器系统，其中所述第二压电材料表面包括所述致动器接触表面。

9.根据权利要求4所述的致动器系统，还包括第二压电式致动器，所述第二压电式致动器包括所述透明压电材料，其中所述参考束延伸穿过所述第二压电式致动器的所述透明压电材料，其中所述第二压电式致动器包括在配置成用于调制所述参考束的调制器中。

10.根据权利要求1或2所述的致动器系统，其中所述压电式致动器包括剪切压电式致动器，并且其中所述光学位置传感器包括编码器光栅，

其中所述光学位置传感器配置成使所述光束穿过所述压电式致动器透射至所述编码器光栅上。

11.根据权利要求10所述的致动器系统，其中所述压电式致动器包括被配置成提供在第一致动方向上的剪切移动的第一剪切压电式致动器和被配置成提供在不同于所述第一致动方向的第二致动方向上的剪切移动的第二剪切压电式致动器，

其中所述第一致动方向和第二致动方向定义了致动平面，

其中所述第一剪切 压电式致动器和所述第二剪切压电式致动器各自包括所述透明压电材料，

其中所述光学位置传感器配置成使所述光束透射穿过所述第一剪切 压电式致动器和所述第二剪切压电式致动器，

其中所述编码器光栅包括平行于所述致动平面延伸的两维光栅。