[发明专利]用于制造光电子部件的方法及光电子部件有效
申请号: | 201780014406.7 | 申请日: | 2017-07-06 |
公开(公告)号: | CN110024139B | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
发明(设计)人: | 李周寅;欧崇杰;李崇金;陈爱成 | 申请(专利权)人: | 欧司朗光电半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/48;H01L33/52;H01L33/50;H01L33/60;H01L33/62 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 杨铁成;杨林森 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制造 光电子 部件 方法 | ||
1.一种用于制造光电子部件(100)的方法,包括以下步骤:
A)提供中间膜(1);
B)将多个光电子半导体芯片(2)附着在所述中间膜(1)的预定位置上;
C)提供具有多个分开的开口(30)的腔膜(3);
D)将所述腔膜(3)附着至所述中间膜(1),使得每个光电子半导体芯片(2)与相应的开口(30)相关联,其中,
-所述腔膜(3)比所述光电子半导体芯片(2)厚,使得所述腔膜(3)在离开所述中间膜(1)的方向上超出所述光电子半导体芯片(2);
E)在所述开口(30)中的每一个中填充浇注材料(4),使得所述光电子半导体芯片(2)被浇注有所述浇注材料(4);
F)去除所述中间膜(1)。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,
-所述中间膜(1)和所述腔膜(3)各自以卷的形式被提供,
-在步骤D)中,以卷对卷工艺将所述腔膜(3)附着至所述中间膜(1),其中,所述中间膜(1)和所述腔膜(3)同时展开并且此后彼此连接。
3.根据权利要求2所述的方法,其中,
所述腔膜(3)在展开之后并且在附着至所述中间膜(1)之前被图案化有所述开口(30)。
4.根据权利要求1或2所述的方法,其中,在步骤E)之前且在步骤D)之后,将被设计用于光转换的磷光体层(5)附着至所述光电子半导体芯片(2)。
5.根据权利要求1或2所述的方法,其中,在步骤F)之后,在相邻开口(30)之间中的区域中切割所述腔膜(3),使得获得多个光电子部件(100),每个光电子部件(100)包括一个光电子半导体芯片(2),所述光电子半导体芯片(2)在横向上完全被壳体(3)包围,所述壳体(3)由所述腔膜(3)形成。
6.根据权利要求1或2所述的方法,其中,所述中间膜(1)被提供为热释放带。
7.根据权利要求1或2所述的方法,其中,在步骤E)之后固化所述浇注材料(4),使得所述浇注材料(4)将所述光电子半导体芯片(2)机械地固定在所述开口(30)内部并且将所述光电子半导体芯片(2)机械地连接至所述腔膜(3)。
8.根据权利要求1或2所述的方法,其中,所述浇注材料(4)是透明材料。
9.根据权利要求1或2所述的方法,其中,所述腔膜(3)包括聚酰亚胺、或液晶聚合物、或聚邻苯二甲酰胺或聚乙烯对苯二甲酸酯。
10.根据权利要求1或2所述的方法,其中,所述中间膜(1)是带,所述半导体芯片(2)仅以一排附着在所述带上。
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