[发明专利]用于界定设计数据的重复结构中的关注区域的系统及方法

权利要求书

1.一种用于识别经界定关注区域中缺陷的系统，其包括：

检验工具，其中所述检验工具包括经配置以获取样本的选定区域的一或多个图像的检测器；

用户接口，其中所述用户接口包括显示器及用户输入装置；及

控制器，其包含经配置以执行存储于存储器中的一组程序指令的一或多个处理器，其中所述程序指令经配置以使得所述一或多个处理器：

接收设计数据，其中所述设计数据包含重复单元块；

在所述用户接口上呈现所述重复单元块的特定单元；

从经由所述用户接口接收的第一输入界定与所述特定单元中的第一受关注设计相关联的第一关注区域，其中所述第一关注区域具有第一敏感度阈值；

从经由所述用户接口接收的额外输入界定与所述特定单元中的额外受关注设计相关联的额外关注区域，其中所述额外关注区域具有额外敏感度阈值，其中所述第一关注区域比所述额外关注区域更敏感；

通过执行搜索功能而识别所述重复单元块内的第一关注区域的集合，以识别所述重复单元块内的所述第一受关注设计的额外出现；

通过执行搜索功能而识别所述重复单元块内的额外关注区域的集合，以识别所述重复单元块内的所述额外受关注设计的额外出现；

根据所述第一关注区域的集合以及所述额外关注区域的集合来配置所述检验工具，以减少获取所述样本的所述选定区域的所述一或多个图像时的检验时间；

从所述检验工具接收所述样本的所述选定区域的所述一或多个图像；

基于所述第一敏感度阈值而识别所述样本的所述选定区域的所述一或多个图像中的所述第一关注区域的所述集合内的一或多个缺陷；及

基于所述额外敏感度阈值而识别所述样本的所述选定区域的所述一或多个图像中的所述额外关注区域的所述集合内的一或多个缺陷。

2.根据权利要求1所述的系统，其中基于由所述控制器经由所述用户接口接收的选择而界定所述第一关注区域及所述额外关注区域中的至少一者。

3.根据权利要求1所述的系统，其中识别与所述重复单元块内的相关联的所述第一受关注设计的额外出现的所述搜索功能包含像素与设计对准过程。

4.根据权利要求1所述的系统，其中识别所述重复单元块内的所述额外受关注设计的额外出现的所述搜索功能包含像素与设计对准过程。

5.根据权利要求1所述的系统，其中利用所述重复单元块内的第一关注区域的所述识别的集合及所述重复单元块内的额外关注区域的所述识别的集合中的至少一者执行运行时间内容映图演现。

6.根据权利要求1所述的系统，其中依据所述第一关注区域内的多个比较标记确定所述第一敏感度阈值，其中所述第一关注区域内的较少数目的所述多个比较标记对应于用于所述第一关注区域的较高敏感度阈值。

7.根据权利要求1所述的系统，其中依据所述额外关注区域内的多个比较标记确定所述额外敏感度阈值，其中所述额外关注区域内的较少数目的所述多个比较标记对应于用于所述额外关注区域的较高敏感度阈值。

8.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一敏感度阈值高于所述额外敏感度阈值。

9.根据权利要求1所述的系统，其中所述检验工具包括暗场检验工具或亮场检验工具中的至少一者。

10.根据权利要求1所述的系统，其中所述检验工具包含照明源。

11.根据权利要求10所述的系统，其中所述照明源包括：

窄带源或宽带源中的至少一者。

12.根据权利要求1所述的系统，其中所述检验工具包括：

扫描电子显微镜SEM工具。