[发明专利]用于柔性衬底的微环境

权利要求书

1.一种衬底容器，其包括：

壳，其界定开口；

门，其经配置以选择性地密封所述开口；及

悬臂式支撑托架，其经配置以支撑所述壳内的柔性衬底。

2.根据权利要求1所述的衬底容器，其进一步包括支撑柱，其中所述支撑托架从至少一个支撑柱悬吊。

3.根据权利要求2所述的衬底容器，其进一步包括经配置以将所述支撑托架耦合到所述至少一个支撑柱的至少一个支撑轴环。

4.根据权利要求3所述的衬底容器，其中所述至少一个支撑轴环包围所述至少一个支撑柱。

5.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述支撑托架包括经配置以接触由所述支撑托架支撑的衬底的向后边缘的配准壁架。

6.根据权利要求5所述的衬底容器，其中所述支撑托架进一步包括从所述配准壁架向前延伸的突耳特征，所述突耳特征经配置以限制由所述支撑托架支撑的衬底的侧向移动。

7.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述支撑托架包括从所述支撑托架向上延伸的销，所述销经配置以配合由所述支撑托架支撑的衬底的配准孔。

8.根据权利要求7所述的衬底容器，其中所述销在所述销的远端附近具有锥形轮廓。

9.根据权利要求1所述的衬底容器，其进一步包括耦合到所述门的保持机构，所述保持机构经配置以防止由所述支撑托架支撑的衬底在第一方向上移动。

10.根据权利要求9所述的衬底容器，其中所述保持机构经进一步配置以防止由支撑框架支撑的衬底在第二方向上移动，所述第二方向垂直于所述第一方向。

11.一种支撑托架，其经配置以支撑衬底容器内的衬底，所述支撑托架包括：

至少一个支撑轴环，其经配置以将所述支撑托架耦合到至少一个支撑柱，使得所述支撑托架从所述至少一个支撑柱悬吊。

12.根据权利要求11所述的支撑托架，其中所述至少一个支撑轴环经配置以包围所述至少一个支撑柱。

13.根据权利要求11所述的支撑托架，其中所述支撑托架包括经配置以接触由所述支撑托架支撑的衬底的向后边缘的配准壁架。

14.根据权利要求13所述的支撑托架，其中所述支撑托架进一步包括从所述配准壁架向前延伸的突耳特征，所述突耳特征经配置以限制由所述支撑托架支撑的衬底的侧向移动。

15.根据权利要求11所述的支撑托架，其中所述支撑托架包括从所述支撑托架向上延伸的销，所述销经配置以配合由所述支撑托架支撑的衬底的配准孔。

16.根据权利要求15所述的支撑托架，其中所述销在所述销的远端附近具有锥形轮廓。

17.一种支撑衬底容器内的衬底的方法，所述衬底容器包含界定开口的壳及经配置以选择性地密封所述开口的门；所述方法包括：

将所述衬底放置于悬臂式支撑托架上；及

将所述支撑托架定位于所述壳内。

18.根据权利要求17所述的方法，其中将所述支撑托架定位于所述壳内包含将所述支撑托架耦合到至少一个支撑柱，使得所述支撑托架从所述支撑柱悬吊。

19.根据权利要求17所述的方法，其中所述支撑托架包含从所述支撑托架向上延伸的销，且将所述衬底放置于所述支撑托架上包含引起所述销配合所述衬底的配准孔。