[发明专利]用于柔性衬底的微环境

说明书

本发明涉及一种衬底容器(1100)，其包含界定开口的壳(1105)及用于选择性地密封所述开口的门(1505)。悬臂式支撑托架(1120)支撑所述壳(1105)内的衬底(1115)。所述支撑托架(1120)包含支撑轴环(1300)，其用于将所述支撑托架(1120)耦合到支撑柱(1215)，使得所述支撑托架(1120)从所述支撑柱(1215)悬吊。

相关申请案的交叉参考

本申请案主张2016年2月9日申请的第62/293,240号美国临时申请案及2016年2月11日申请的第62/294,194号美国临时申请案的权利。所述申请案的全部内容以引用的方式并入本文中。

技术领域

本发明涉及用于容纳衬底以用于存储及运输，且更具体来说，涉及衬底容器中的薄衬底的支撑系统。

背景技术

许多常规衬底容器(例如前开式统集盒(FOUP))经配置以从衬底的边缘支撑衬底。但是，随着电子器件变得越来越紧凑及小型化，我们将重点放在减小电子衬底的厚度或提供柔性衬底(例如柔性电子装置及容纳于其内的显示器)上。因此，衬底变得越来越薄，使得其无法在水平定向上从其边缘悬吊时进行自支撑。

鉴于上文，需要可支撑柔性衬底的容器系统。

发明内容

本发明大体上涉及用于使柔性衬底维持在实质上平坦状态中的支撑系统。在本文中，“衬底”是具有实质上均匀厚度且在经适当支撑时实质上平坦或希望为实质上平坦的结构。衬底形式包含薄板、平板及层片。衬底可具有任何形状，包含圆形、矩形及多边形。衬底可具有均质或多层材料，例如玻璃、硅、玻璃环氧树脂或薄膜。衬底也可包含材料的组合物，例如掺杂材料(例如掺杂有铜或碳的玻璃环氧树脂)、层压或涂料复合物或其上沉积有涂层的核心材料。衬底的非限制性实例包含用于光刻应用中的主光罩及已由光刻技术处理或部分处理的硅晶片。在本文中，“柔性衬底”是在由其周边或个别点支撑时无法在不施加张力的情况下维持实质上平坦状态的衬底。

各种实施例涉及使用FOUP(例如300mm或450mm FOUP)来运输、存储及处置具有变化厚度的柔性衬底。一些实施例还涉及在变化工艺或工艺设备之间将柔性衬底转移进及转移出FOUP。

在一个说明性实施例中，一种衬底容器包括界定开口的壳及经配置以选择性地密封所述开口的门。悬臂式支撑托架经配置以支撑所述壳内的衬底。优选地，所述支撑托架从至少一个支撑柱悬吊。在特定实施例中，所述悬臂式支撑托架可包含经配置以将所述支撑托架耦合到支撑柱的支撑轴环。所述支撑轴环可环绕所述支撑柱。

在一个实施例中，所述悬臂式支撑托架包含经配置以接触由所述支撑托架支撑的衬底的向后边缘的配准壁架。所述支撑托架进一步包含从所述配准壁架向前延伸的突耳特征，所述突耳特征经配置以限制由所述支撑托架支撑的衬底的侧向移动。

所述悬臂式支撑托架可包含从所述支撑托架向上延伸的销，所述销经配置以配合由所述悬臂式支撑托架支撑的衬底的配准孔。在优选实施例中，所述销在所述销的远端附近具有锥形轮廓。

保持机构可耦合到所述门。在一个实施例中，所述保持机构可经配置以通过在第一方向上将衬底夹紧到所述悬臂式支撑托架而防止所述衬底移动。优选地，所述保持机构经进一步配置以防止由所述支撑框架支撑的衬底在第二方向或不同方向中的至少一者上移动。

在另一实施例中，一种衬底容器包括界定开口的壳、经配置以选择性地密封所述开口的门及支撑框架。所述支撑框架包含经配置以支撑衬底的框架及耦合到所述框架的闩锁组合件。所述框架界定内周边及外周边。所述闩锁组合件经配置以选择性地接合由所述框架支撑于所述内周边与所述外周边之间的位置处的衬底(且在特定实施例中为柔性衬底)。