[发明专利]闭合装置、具有闭合装置的真空系统和操作闭合装置的方法

权利要求书

1.一种闭合装置(100,200)，包括：

凸缘(110)，设于真空腔室(101)并包括开口(112)；

阻挡装置(120,220)，经构造以闭合所述开口(112)；

第一磁性装置(130)，经构造以在所述凸缘(110)与所述阻挡装置(120)之间产生磁性闭合力，用于将所述阻挡装置或所述阻挡装置的一部分从打开位置(I)传送至闭合位置(II)；和

磁悬浮系统(150)，经构造以在平行于所述凸缘(110)的第一方向(T)中沿着引导结构非接触地传送所述阻挡装置(120)，其中所述磁悬浮系统包括第二磁性装置(160)，经构造以在第二方向(X)中稳定所述阻挡装置(120)，所述第二方向(X)横向于所述第一方向(T)，所述第二磁性装置(160)经构造以将所述阻挡装置从所述闭合位置(II)传送至所述打开位置(I)。

2.根据权利要求1所述的闭合装置，其中所述第二磁性装置(160)包括被动磁性稳定装置。

3.根据权利要求1所述的闭合装置，其中所述第二磁性装置(160)包括第一多个永磁体(165)和第二多个永磁体(166)，所述第一多个永磁体(165)固定至所述阻挡装置(120)的至少一侧，所述第二多个永磁体(166)固定至所述引导结构。

4.根据权利要求1所述的闭合装置，其中所述第二磁性装置(160)包括上部磁性稳定装置(161)和下部磁性稳定装置(162)中的至少一者，所述上部磁性稳定装置(161)用于稳定所述阻挡装置的上部部分，所述下部磁性稳定装置(162)用于稳定所述阻挡装置的下部部分。

5.根据权利要求1至4任一项所述的闭合装置，其中所述磁悬浮系统(150)包括第三磁性装置(180)，经构造以非接触地将所述阻挡装置保持在所述引导结构处，并且所述第三磁性装置(180)包括多个主动磁性轴承(184)。

6.根据权利要求5所述的闭合装置，其中所述第三磁性装置(180)包括磁性致动器和距离传感器，所述距离传感器用于测量所述阻挡装置(120)与所述引导结构之间的距离，其中所述磁性致动器在控制回路中被控制。

7.根据权利要求5所述的闭合装置，其中所述阻挡装置(120)经构造以悬挂于所述引导结构的上部轨道(182)的下方，其中所述多个主动磁性轴承(184)附接于所述上部轨道(182)。

8.根据权利要求5所述的闭合装置，其中所述多个主动磁性轴承(184)整合在所述阻挡装置(220)中。

9.根据权利要求8所述的闭合装置，其中所述多个主动磁性轴承(184)整合在所述阻挡装置的头部部分(222)中。

10.根据权利要求1至4任一项所述的闭合装置，其中所述磁悬浮系统还包括驱动器(170)，用于在所述第一方向(T)中沿着所述引导结构移动所述阻挡装置(120)。

11.根据权利要求10所述的闭合装置，其中所述驱动器(170)是线性电机。

12.根据权利要求1至4任一项所述的闭合装置，其中所述第一磁性装置(130)经构造以将整个所述阻挡装置(120)从所述打开位置(I)传送至所述闭合位置(II)。

13.根据权利要求12所述的闭合装置，其中所述阻挡装置(120)被形成为一个刚性部件。

14.根据权利要求1至4任一项所述的闭合装置，其中所述阻挡装置(220)包括下部部分(221)和头部部分(222)，所述下部部分(221)与所述头部部分(222)相对于彼此是可移动的，其中将所述阻挡装置(220)从所述打开位置(I)传送至所述闭合位置(II)包括移动所述下部部分(221)朝向所述凸缘(110)，而不移动所述头部部分(222)。