[发明专利]激光照射装置及激光照射方法

权利要求书

1.一种激光照射装置，其为对包含反射面的对象物照射激光的激光照射装置，其特征为，

具备：

激光光源，其产生所述激光；

空间光调制器，其具有显示相位图案的显示部，并使由所述激光光源所产生的所述激光入射至所述显示部中，将该激光根据所述相位图案来调制并从所述显示部出射；

物镜，其将由所述空间光调制器所出射的所述激光聚光于所述对象物；

转像光学系统，其将在所述空间光调制器的所述显示部中的所述激光的像转像至所述物镜的入射瞳面；

摄像机，其对包含被照射于所述对象物并被所述反射面所反射了的所述激光的反射光的点像的图像进行拍摄；

控制部，其至少对显示在所述显示部的所述相位图案进行控制；和

点像位置取得部，其取得在由所述摄像机所拍摄了的所述图像中的所述反射光的点像的位置，

并且，

所述控制部执行下述处理：

第1显示处理，在由所述摄像机对所述图像进行拍摄时，使所述显示部显示第1相位图案，该第1相位图案将由所述物镜聚光的所述激光的聚光位置作为第1聚光位置；和

第2显示处理，在由所述摄像机对所述图像进行拍摄时，使所述显示部显示第2相位图案，该第2相位图案将由所述物镜聚光的所述激光的聚光位置作为第2聚光位置，该第2聚光位置与所述第1聚光位置在所述激光的照射方向上不同，

所述点像位置取得部执行下述处理：

取得第1位置的第1位置取得处理，所述第1位置为在执行所述第1显示处理时由所述摄像机所拍摄的所述图像中的所述反射光的点像的位置；和

取得第2位置的第2位置取得处理，所述第2位置为在执行所述第2显示处理时由所述摄像机所拍摄的所述图像中的所述反射光的点像的位置，

该激光照射装置还具备：位置判定部，当由所述点像位置取得部所取得的所述第1位置以及所述第2位置并未相互一致的情况时，判定在所述入射瞳面的中心位置和由所述转像光学系统转像至所述入射瞳面的所述激光的像的中心位置之间存在有偏移。

2.如权利要求1所述的激光照射装置，其中，具备有：

位置调整部，将基准位置基于由所述点像位置取得部所取得的所述第1位置以及所述第2位置来进行偏置，所述基准位置是当在所述显示部显示所述相位图案时作为基准的位置。

3. 如权利要求2所述的激光照射装置，其中，

具备有使所述物镜以及所述对象物中的至少一者移动的移动机构，并且

所述控制部在由所述点像位置取得部的所述第1位置取得处理取得所述第1位置时，由所述移动机构使所述物镜以及所述对象物中的至少一者向能够由所述摄像机确认所述反射光的点像的位置移动；并在由所述点像位置取得部的所述第2位置取得处理取得所述第2位置时，由所述移动机构使所述物镜以及所述对象物中的至少一者向能够由所述摄像机确认所述反射光的点像的位置移动，

所述点像位置取得部使所述显示部上的所述第1相位图案的位置变化而执行1次或反复多次执行所述第1位置取得处理，并使所述显示部上的所述第2相位图案的位置变化而执行1次或反复多次执行所述第2位置取得处理，

所述位置调整部基于多个所述第1位置以及多个所述第2位置来算出所述显示部中的光轴中心，并使所述基准位置向该光轴中心偏置。

4.如权利要求1～3中的任一项所述的激光照射装置，其中，

所述第1聚光位置为以下的（A）～（C）中的任一者，所述第2聚光位置为以下的（A）～（C）中的另外的任一者，

（A）所述物镜的焦点位置；

（B）相对于所述物镜的焦点位置而言在所述物镜一侧的位置；

（C）相对于所述物镜的焦点位置而言在与所述物镜相反的一侧的位置。