[发明专利]激光照射装置及激光照射方法

说明书

激光加工装置具备有激光光源、具有显示部的空间光调制器、物镜、转像光学系统、摄像机以及控制部。控制部执行第1显示处理和第2显示处理。第1显示处理是在用摄像机对图像进行摄像时，使显示部显示将由物镜聚光的激光的聚光位置作为第1聚光位置的第1相位图案。第2显示处理是在用摄像机对前述图像进行摄像时，使显示部显示将由物镜所聚光的激光的聚光位置作为在激光的照射方向上与第1聚光位置不同的第2聚光位置的第2相位图案。

技术领域

本发明的一个方面涉及激光照射装置及激光照射方法。

背景技术

在现有技术中，作为对对象物照射激光的激光照射装置，例如记载有在专利文献1中所述的装置。在此种激光照射装置中，由激光光源所产生的激光，在由空间光调制器作了调制之后，由物镜来聚光于对象物。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本特开2011-51011号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

在上述激光照射装置中，由4f光学系统等的转像光学系统，在空间光调制器的显示部的激光的像被转像至物镜的入射瞳面。在此，当转像至物镜的入射瞳面的激光的像的中心位置与该入射瞳面的中心位置并未一致时，例如被聚光于对象物的激光的光束强度中心会产生偏移，而会有导致加工品质(激光照射后的对象物的品质)恶化的担忧。

因此，本发明的其中一个方面的目的在于提供一种能够对于由转像光学系统转像至物镜的入射瞳面的激光的像的中心位置与该入射瞳面的中心位置之间的偏移进行掌控的激光照射装置以及激光照射方法。

[用于解决问题的手段]

本发明的其中一个方面的激光照射装置，为对于包含反射面的对象物照射激光的激光照射装置，其特征为，具备有：激光光源，产生激光；空间光调制器，具有显示相位图案的显示部，并使由激光光源所产生的激光入射显示部中，将该激光根据相位图案来调制并从显示部出射；物镜，将由空间光调制器所出射的激光聚光于对象物；转像光学系统，将在空间光调制器的显示部中的激光的像转像至物镜的入射瞳面；摄像机，对于包含被照射于对象物并被反射面所反射了的激光的反射光的点像的图像进行摄像；和控制部，至少对于被显示在显示部的相位图案进行控制，控制部执行下述处理：第1显示处理，在由摄像机摄像图像时，使显示部显示将由物镜聚光的激光的聚光位置作为第1聚光位置的第1相位图案；和第2显示处理，在由摄像机摄像图像时，使显示部显示将由物镜聚光的激光的聚光位置作为在激光的照射方向上与第1聚光位置不同的第2聚光位置的第2相位图案。

在此激光照射装置中，包含被照射至对象物并被反射面所反射的激光的反射光的点像的图像由摄像机进行摄像。在摄像该图像时，第1相位图案由控制部的第1显示处理在显示部被显示，激光的聚光位置由该第1相位图案被作为第1聚光位置。又，在摄像该图像时，第2相位图案由控制部的第2显示处理在显示部被显示，激光的聚光位置由该第2相位图案被作为第2聚光位置。在此，发现到了：当转像至入射瞳面的激光的像的中心位置与该入射瞳面的中心位置之间存在有偏移(以下，亦单纯称作“转像位置偏移”)时，相较于并不存在有转像位置偏移的情况，例如会有激光并未由物镜适当地聚光，并容易成为第1聚光位置和第2聚光位置在与激光的照射方向相正交的方向上相互分离的状态(并未相互一致的状态)。因此，通过基于在第1显示处理以及第2显示处理的各者的执行时的摄像机的摄像结果，能够对于转像位置偏移进行掌握。