[发明专利]可动工作台冷却装置及可动工作台冷却系统

权利要求书

1.一种可动工作台冷却装置，其冷却在真空容器内保持物体的可动工作台，所述可动工作台冷却装置的特征在于，具备：

压缩机；

冷头，其固定于所述真空容器并且具备配置于所述真空容器内的冷却部；

制冷机气体供给管路，其具备分支部并且从所述压缩机向所述冷头供给制冷剂气体；

制冷机气体排出管路，其具备合流部并且从所述冷头向所述压缩机排出制冷剂气体；

第1气体流入管路，其在所述分支部从所述制冷机气体供给管路分支并连接于第1可动工作台流路以使制冷剂气体从所述压缩机流入所述可动工作台，并且所述第1气体流入管路具备与所述冷却部热连接的换热部；

第1气体流出管路，其连接于所述第1可动工作台流路并在所述合流部与所述制冷机气体排出管路合流以使制冷剂气体从所述可动工作台流出至所述压缩机；

第2气体流入管路，其在所述分支部从所述制冷机气体供给管路分支并连接于第2可动工作台流路以使制冷剂气体从所述压缩机流入所述可动工作台，并且所述第2气体流入管路配设成未与所述冷却部热连接；及

第2气体流出管路，其连接于所述第2可动工作台流路并在所述合流部与所述制冷机气体排出管路合流以使制冷剂气体从所述可动工作台流出至所述压缩机。

2.根据权利要求1所述的可动工作台冷却装置，其特征在于，

所述第1气体流入管路具备第1气体流入柔性管，所述第1气体流入柔性管以使所述可动工作台能够在所述真空容器内移动的方式连接于所述第1可动工作台流路，

所述第1气体流出管路具备第1气体流出柔性管，所述第1气体流出柔性管以使所述可动工作台能够在所述真空容器内移动的方式连接于所述第1可动工作台流路，

所述第2气体流入管路具备第2气体流入柔性管，所述第2气体流入柔性管以使所述可动工作台能够在所述真空容器内移动的方式连接于所述第2可动工作台流路，

所述第2气体流出管路具备第2气体流出柔性管，所述第2气体流出柔性管以使所述可动工作台能够在所述真空容器内移动的方式连接于所述第2可动工作台流路。

3.根据权利要求1或2所述的可动工作台冷却装置，其特征在于，

所述制冷机气体供给管路具备制冷机气体流量调节阀，

所述第1气体流入管路具备第1气体流量调节阀，

所述第2气体流入管路具备第2气体流量调节阀，

所述可动工作台冷却装置还具备阀控制部，所述阀控制部根据所述可动工作台、所述压缩机和/或所述冷头的状态来控制所述制冷机气体流量调节阀、所述第1气体流量调节阀及所述第2气体流量调节阀中的至少一个调节阀。

4.根据权利要求3所述的可动工作台冷却装置，其特征在于，

所述可动工作台冷却装置还具备可动工作台温度传感器，所述可动工作台温度传感器将所述可动工作台的测定温度输出至所述阀控制部，

所述阀控制部进行如下控制：

若所述可动工作台的测定温度高于温度阈值，则关闭所述第1气体流量调节阀并打开所述第2气体流量调节阀；

若所述可动工作台的测定温度为所述温度阈值以下，则打开所述第1气体流量调节阀并关闭所述第2气体流量调节阀。

5.根据权利要求4所述的可动工作台冷却装置，其特征在于，

所述阀控制部进行如下控制：

若所述可动工作台的测定温度高于所述温度阈值，则使所述制冷机气体流量调节阀开启规定的开度；

若所述可动工作台的测定温度为所述温度阈值以下，则使所述制冷机气体流量调节阀开启大于所述规定的开度的开度。

6.根据权利要求4或5所述的可动工作台冷却装置，其特征在于，

所述压缩机具备压缩机马达及压缩机控制部，所述压缩机控制部控制所述压缩机马达的运行频率并将所述运行频率输出至所述阀控制部，

所述阀控制部根据所述运行频率来确定所述第1气体流量调节阀和/或所述第2气体流量调节阀的开度。