[发明专利]可动工作台冷却装置及可动工作台冷却系统

说明书

本发明提供一种适合冷却在真空容器内保持物体的可动工作台的冷却装置。冷却装置(10)具备压缩机(16)、冷头(18)及循环冷却装置(14)。压缩机(16)共用于冷头(18)和循环冷却装置(14)。循环冷却装置(14)具备：低温气体循环管路(22)，其与冷头(18)的冷却部18d热连接；及室温气体循环管路(24)，其配设成未与冷头(18)的冷却部(18d)热连接。

技术领域

本发明涉及一种可动工作台冷却装置及可动工作台冷却系统。

背景技术

已知有各种循环冷却系统，这些系统用于将物体冷却至超低温。这种冷却系统典型地构成为对固定并设置在真空容器内的设备进行冷却。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-63697号公报

专利文献2：日本特开平10-313136号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

本发明的一种实施方式的例示性目的之一在于提供一种适合冷却在真空容器内保持物体的可动工作台的冷却装置。

用于解决技术课题的手段

本发明的一种实施方式提供一种可动工作台冷却装置，其冷却在真空容器内保持物体的可动工作台，所述可动工作台冷却装置的特征在于，具备：压缩机；冷头，其固定于所述真空容器并且具备配置于所述真空容器内的冷却部；制冷机气体供给管路，其具备分支部并且从所述压缩机向所述冷头供给制冷剂气体；制冷机气体排出管路，其具备合流部并且从所述冷头向所述压缩机排出制冷剂气体；第1气体流入管路，其在所述分支部从所述制冷机气体供给管路分支并连接于第1可动工作台流路以使制冷剂气体从所述压缩机流入所述可动工作台，并且所述第1气体流入管路具备与所述冷却部热连接的换热部；第1气体流出管路，其连接于所述第1可动工作台流路并在所述合流部与所述制冷机气体排出管路合流以使制冷剂气体从所述可动工作台流出至所述压缩机；第2气体流入管路，其在所述分支部从所述制冷机气体供给管路分支并连接于第2可动工作台流路以使制冷剂气体从所述压缩机流入所述可动工作台，并且所述第2气体流入管路配设成未与所述冷却部热连接；及第2气体流出管路，其连接于所述第2可动工作台流路并在所述合流部与所述制冷机气体排出管路合流以使制冷剂气体从所述可动工作台流出至所述压缩机。

本发明的一实施种方式提供一种可动工作台冷却装置，其冷却在真空容器内保持物体的可动工作台，所述可动工作台冷却装置的特征在于，具备：压缩机；冷头，其固定于所述真空容器并且具备配置于所述真空容器内的冷却部；制冷机气体供给管路，其具备分支部并且从所述压缩机向所述冷头供给制冷剂气体；制冷机气体排出管路，其具备合流部并且从所述冷头向所述压缩机排出制冷剂气体；第1气体流入管路，其在所述分支部从所述制冷机气体供给管路分支并连接于第1可动工作台流路以使制冷剂气体从所述压缩机流入所述可动工作台，并且所述第1气体流入管路具备与所述冷却部热连接的换热部；第1气体流出管路，其连接于所述第1可动工作台流路并在所述合流部与所述制冷机气体排出管路合流以使制冷剂气体从所述可动工作台流出至所述压缩机；制冷机气体流量调节阀，其配置于所述制冷机气体供给管路上；第1气体流量调节阀，其配置于所述第1气体流入管路上；阀控制部，其根据所述可动工作台、所述压缩机和/或所述冷头的状态来控制所述制冷机气体流量调节阀及所述第1气体流量调节阀中的至少一个调节阀。