[发明专利]使用用于样本位置的辅助图像检测器的成像系统

权利要求书

1.一种成像系统，包括：

光源，其在照射轴上照射样本；

第一图像检测器，其安装在倾斜于所述照射轴的光轴上以从被照射的样本接收光；

载物台，其支持所述样本；

第二图像检测器，其设置在成像轴上；

驱动机构，其被配置成将所述载物台和所述成像轴相对彼此移动；以及

处理器，其被配置成(a)接收通过所述第一图像检测器检测到的所述样本的图像，(b)确定通过所述图像内的所述样本产生的对比区域的物理位置，和(c)基于所述物理位置发送信号至所述驱动机构，以将所述样本的至少一部分设置在所述第二图像检测器的视场中。

2.根据权利要求1所述的成像系统，其中，所述第一图像检测器被配置成倾斜地成像所述样本。

3.根据权利要求2所述的成像系统，其中，所述处理器被配置成对通过所述第一图像检测器检测到的所述图像进行梯形失真校正。

4.根据权利要求3所述的成像系统，其中，所述处理器被配置成在进行所述梯形失真校正后，对用户显示所述图像。

5.根据权利要求1所述的成像系统，其中，同一光源被配置成当所述第一图像检测器和所述第二图像检测器中的每个检测到图像时，照射所述样本。

6.根据权利要求1所述的成像系统，其中，所述载物台被配置成在水平样品平面中支持所述样本，且其中，所述第一图像检测器和所述第二图像检测器彼此设置在所述样品平面的相对侧上。

7.根据权利要求1所述的成像系统，其中，所述成像系统被配置成利用所述第二图像检测器检测落射光致发光图像和/或透射照明图像。

8.根据权利要求1所述的成像系统，其中，所述处理器被配置成至少部分基于所述图像的像素与物理空间的平面中的位置之间的预定关系来确定所述对比区域的所述物理位置。

9.根据权利要求1所述的成像系统，还包括漫射器，其定位在从所述光源到所述第一图像检测器的光学路径中。

10.根据权利要求1所述的成像系统，其中，所述第一图像检测器被配置成以比所述第二图像检测器低的放大率来检测所述样本。

11.一种成像方法，所述方法包括：

利用光在照射轴上照射样本；

利用第一图像检测器检测第一图像，该第一图像检测器在倾斜于所述照射轴的光轴上以从被照射的样本接收光；

处理所述第一图像以确定通过所述第一图像内的所述样本产生的对比区域的物理位置，

基于所述物理位置，将所述样本和第二图像检测器相对彼此移动，以将所述样本的至少一部分设置在所述第二图像检测器的视场中；以及

利用所述第二图像检测器检测第二图像。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，检测第一图像的步骤包括以下步骤：利用所述第一图像检测器倾斜地成像所述样本。

13.根据权利要求12所述的方法，还包括以下步骤：对通过所述第一图像检测器检测到的所述第一图像进行梯形失真校正。

14.根据权利要求13所述的方法，还包括以下步骤：在进行所述梯形失真校正后，显示所述第一图像。

15.根据权利要求11所述的方法，其中，当所述第一图像检测器和所述第二图像检测器中的每个检测到图像时，同一光源照射所述样本。

16.根据权利要求11所述的方法，其中，在检测第一图像的步骤期间，在水平样品平面中支持所述样本，且其中，所述第一图像检测器和所述第二图像检测器彼此设置在所述样品平面的相对侧上。