[发明专利]基座支撑件

权利要求书

1.一种用于支撑基座的设备，包括：

轴杆；

板，所述板具有与所述轴杆接触的底表面，其中所述板包含石英、熔融石英、氧化铝、蓝宝石或氧化钇，并且所述板具有范围为2mm至20mm的厚度；和

支撑元件，所述支撑元件从所述板的顶表面延伸，其中所述支撑元件包括多个圆柱支柱，并且所述多个圆柱支柱的每个圆柱支柱包括壁和连接到所述壁的渐缩部分。

2.如权利要求1所述的设备，其中所述板具有范围为4mm至8mm的厚度。

3.如权利要求1所述的设备，其中所述支撑元件进一步包括中空圆柱。

4.如权利要求1所述的设备，其中所述渐缩部分包括直线渐缩。

5.如权利要求1所述的设备，其中所述渐缩部分包括弯曲渐缩。

6.如权利要求1所述的设备，进一步包括中空圆柱，所述中空圆柱从所述板的所述顶表面延伸，其中所述多个圆柱支柱设置在所述中空圆柱的径向外侧。

7.如权利要求1所述的设备，其中所述支撑元件包括石英、熔融石英、碳化硅、氮化硅、碳化硅涂覆的石墨、玻璃碳涂覆的石墨、氮化硅涂覆的石墨、玻璃碳、石墨、碳化硅涂覆的石英或玻璃碳涂覆的石英。

8.一种用于支撑基座的设备，包括：

轴杆；

板，所述板具有与所述轴杆接触的第一底表面，其中所述板包含石英、熔融石英、氧化铝、蓝宝石或氧化钇，并且所述板具有370mm的直径；和

支撑元件，所述支撑元件从所述板的顶表面延伸，其中所述支撑元件包括中空圆柱，所述中空圆柱具有范围为310mm至360mm的内径，并且所述中空圆柱具有范围为10mm至60mm的高度。

9.如权利要求8所述的设备，其中所述支撑元件包括石英、熔融石英、碳化硅、氮化硅、碳化硅涂覆的石墨、玻璃碳涂覆的石墨、氮化硅涂覆的石墨、玻璃碳、石墨、碳化硅涂覆的石英或玻璃碳涂覆的石英。

10.如权利要求8所述的设备，其中所述支撑元件进一步包括多个圆柱支柱，所述多个圆柱支柱从所述板的所述顶表面延伸。

11.如权利要求10所述的设备，其中所述多个圆柱支柱设置在所述中空圆柱的径向外侧。

12.如权利要求10所述的设备，其中所述多个圆柱支柱的至少一个圆柱支柱包括壁和连接到所述壁的渐缩部分。

13.如权利要求12所述的设备，其中所述渐缩部分包括直线渐缩。

14.一种工艺腔室，包括：

第一外壳构件；

第二外壳构件；

基座支撑件，其中所述基座支撑件的至少一部分设置在所述第一外壳构件和所述第二外壳构件之间，其中所述基座支撑件包括：

轴杆；

板，所述板具有与所述轴杆接触的底表面，其中所述板包含石英、熔融石英、氧化铝、蓝宝石或氧化钇，并且所述板具有范围为2mm至20mm的厚度；和

支撑元件，所述支撑元件从所述板的顶表面延伸，其中所述支撑元件包括多个圆柱支柱，并且所述多个圆柱支柱的每个圆柱支柱包括壁和连接到所述壁的渐缩部分；和

多个能量源，所述多个能量源面向所述第二外壳构件而设置。

15.如权利要求14所述的工艺腔室，进一步包括基座，所述基座设置在所述基座支撑件上，其中所述基座和所述基座支撑件之间的距离的范围为10mm至60mm。