[发明专利]基板搬送手及机器人

权利要求书

1.一种基板搬送手，具备：

外壳；

薄板状的叶片，其基端部结合于所述外壳；

前方导引部，设于所述叶片的梢端部，具有离所述叶片的高度彼此相异的基板的第一支持部及第二支持部；

第一后方导引部，设于所述叶片的基端部，具有离所述叶片的高度与所述前方导引部的所述第一支持部一致的部分；

第二后方导引部，设于所述叶片的基端侧，具有离所述叶片的高度与所述前方导引部的所述第二支持部一致的部分；

驱动装置，设置于所述外壳内，具有对支持于所述叶片的基板进退移动的输出端，并使与该输出端结合的所述第二后方导引部在不与所述叶片在该叶片的垂线方向重叠的区域移动。

2.根据权利要求1所述的基板搬送手，其特征在于，

所述第一支持部的离所述叶片的高度，比所述第二支持部的离所述叶片的高度低。

3.根据权利要求1或2所述的基板搬送手，其中，

在所述叶片，形成有涵盖所述第二后方导引部的移动区域与重叠在所述叶片的垂线方向的范围的开口部。

4.根据权利要求1或2所述的基板搬送手，其特征在于，

在所述驱动装置与所述第二后方导引部之间，设有将所述第二后方导引部往不与所述叶片在该叶片的垂线方向重叠的区域拿出的后方导引支持构件。

5.根据权利要求4所述的基板搬送手，其特征在于，

所述第二后方导引部或所述后方导引支持构件的至少一部分与所述叶片在所述叶片的垂线方向的位置重叠。

6.一种机器人，具备：

手臂；

根据权利要求1至5中任一项所述的基板搬送手，装设于所述手臂的梢端部。