[发明专利]基板搬送手及机器人

说明书

基板搬送手，具备：外壳；薄板状的叶片，其基端部结合于外壳；前方导引部，设于叶片的梢端部，具有离叶片的高度彼此相异的基板的第一支持部及第二支持部；第一后方导引部，设于叶片的基端部，具有离叶片的高度与前方导引部的第一支持部一致的部分；第二后方导引部，设于叶片的基端侧，具有离叶片的高度与前方导引部的第二支持部一致的部分；驱动装置，设置于外壳内，具有对支持于叶片的基板进退移动的输出端，并使与该输出端结合的第二后方导引部在不与叶片在该叶片的垂线方向重叠的区域移动。

技术领域

本发明关于用来保持半导体晶圆或玻璃基板等基板并搬送的基板搬送手、及具备该基板搬送手的机器人。

背景技术

搬送半导体晶圆或玻璃基板等基板的搬送机器人，以在其梢端部具有末端执行器，例如手部，藉由此手部保持基板并搬送的形式构成。作为保持基板的手部，有例如把持基板的称为边缘抓持手者。在半导体制造工序中，有如基板的洗净制造工序般，有洗净前的受污染的基板与洗净后的清洁的基板混在同一制造工序中的场合。在此种场合，若以搬送机器人的一个手部进行基板搬送，会因受污染的基板而手部受污染，以该受污染的手部保持的清洁的基板受污染。作为用来防止如上述的基板的污染的手部，例如有在专利文献1记载的手部。

在专利文献1中，记载了具有两组保持基板的多个爪的手部（参照图10等）。在于专利文献1记载的手部中，藉由将其中一组爪作为受污染的基板用，并将另一组爪作为清洁的基板用，防止如上述的基板的污染。

现有技术文献：

专利文献：

【专利文献1】日本特开2007-067345号公报。

发明内容

发明要解决的问题：

在上述专利文献1记载的手部中，两组的多个爪，以保持于其中一组爪的基板比保持于另一组爪的基板稍高的形式构成。藉由以如上述的形式构成手部，提供较薄且小型的叶片式工件把持装置，是专利文献1的目的。

在上述专利文献1记载的手部中，作为用来使设置于叶片的梢端部的爪滑动的动力传递构件，使用从叶片基端侧至叶片梢端侧的金属带。然而，若用来使如上述的金属带通过的中空部设于叶片，会因此中空部而叶片的强度降低。叶片是薄板状的构件，若因强度降低而变为容易产生弯曲，恐怕手部动作的会安定性受损。

本发明以提供一种在一片叶片具备多组基板支持部的基板搬送手，实现安定的动作，及，具备此基板搬送手的机器人为目的。

解决问题的手段：

本发明的一形态的基板搬送手，具备：

外壳；

薄板状的叶片，其基端部结合于前述外壳；

前方导引部，设于前述叶片的梢端部，具有离前述叶片的高度彼此相异的基板的第一支持部及第二支持部；

第一后方导引部，设于前述叶片的基端部，具有离前述叶片的高度与前述前方导引部的前述第一支持部一致的部分；

第二后方导引部，设于前述叶片的基端侧，具有离前述叶片的高度与前述前方导引部的前述第二支持部一致的部分；

驱动装置，设置于前述外壳内，具有对支持于前述叶片的基板进退移动的输出端，并使与该输出端结合的前述第二后方导引部在不与前述叶片在该叶片的垂线方向重叠的区域移动。在此，所谓「叶片的垂线方向」，是指将叶片的主面垂直地贯穿的方向及与该方向平行的方向。

此外，本发明的一形态的机器人，是一种机器人，具备：

手臂；

上述基板搬送手，装设于前述手臂的梢端部。