[发明专利]片材夹具、工作台、制造装置以及二次电池的制造方法

权利要求书

1.一种片材夹具，其包括：

中央载置面，片材的中央区域载置在所述中央载置面上，且所述中央载置面具有多个第一气孔，所述多个第一气孔配置为使所述片材的中央区域被吸着；

外周上表面，所述外周上表面形成在所述中央载置面的外侧，从侧面看，所述外周上表面在高度上低于所述中央载置面，且所述外周上表面具有多个第二气孔，所述多个第二气孔配置为使所述片材的外周区域被吸着；和

从所述中央载置面到所述外周上表面形成的倾斜面。

2.根据权利要求1所述的片材夹具，其中，对所述外周上表面和所述倾斜面之间的边界进行倒角。

3.根据权利要求1或2所述的片材夹具，其中，所述第二气孔具有直径增大部，从侧面看，在所述直径增大部处，所述第二气孔的直径从下侧朝向所述外周上表面增大。

4.根据权利要求3所述的片材夹具，其中，对所述第二气孔和所述外周上表面之间的边界进行倒角。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的片材夹具，其中，所述第二气孔与所述倾斜面相邻。

6.一种工作台，其包括：

根据权利要求1-5中任一项所述的片材夹具，和

气体排出机构，所述气体排出机构配置为通过第一气孔和第二气孔从所述片材夹具的上表面向下排出空气。

7.一种制造装置，其包括根据权利要求6所述的工作台，所述制造装置配置为在片材被吸着至所述工作台的状态下，在所述片材上执行制造工艺。

8.根据权利要求7所述的制造装置，其中，所述制造工艺至少包括在所述片材上形成膜的成膜工艺、或加工所述片材的加工工艺中的至少一个。

9.根据权利要求7或8所述的制造装置，其还包括：

一对输送卷轴，所述一对输送卷轴包括卷绕卷轴和进料卷轴，所述卷绕卷轴配置为卷绕所述片材，所述进料卷轴配置为将所述片材进料到所述片材夹具上；和

气体供应机构，所述气体供应机构配置为经由第一气孔和第二气孔通过向所述片材夹具的上表面供应空气而相对于工作台解除所述片材的吸着。

10.根据权利要求9所述的制造装置，其还包括：

连接至气体排出机构的第一阀门；

连接至所述气体供应机构的第二阀门；和

控制器，所述控制器配置为控制所述气体排出机构在所述一对输送卷轴停止且所述片材在进料方向被拉伸的状态下执行排气。

11.根据权利要求10所述的制造装置，其中，所述控制器配置为控制所述第一阀门和所述第二阀门，使得依序执行利用所述气体排出机构的排气、利用所述气体供应机构的所述片材的吸着的解除、和利用气体排出机构的排气。

12.一种片状二次电池的制造方法，其包括：使用根据权利要求7-11中任一项所述的制造装置，在片材上执行所述片状二次电池的制造工艺。

13.根据权利要求12所述的片状二次电池的制造方法，其中，所述制造工艺至少包括放置所述片材作为第一电极，并在所述片材上依序层压n型金属氧化物半导体层和充电层，所述n型金属氧化物半导体层由n型金属氧化物半导体形成，所述充电层由包括n型金属氧化物半导体和绝缘材料的材料形成。