[发明专利]片材夹具、工作台、制造装置以及二次电池的制造方法

说明书

本发明的片材夹具包括：中央载置面(17)，片材(50)的中央区域载置在中央载置面(17)上；外周上表面(18)，其形成在中央载置面(17)的外侧，外周上表面(18)在高度上低于中央载置面(17)；和从中央载置面(17)到外周上表面(18)形成的倾斜面(19)。所述中央载置面(17)具有多个第一气孔(13)用于使片材(50)的中央区域被吸着；且所述外周上表面(18)具有多个第二气孔(14)用于使片材(50)的外周区域被吸着。

技术领域

本发明涉及夹具、工作台、制造装置以及二次电池的制造方法。

背景技术

专利文件1公开了一种在调色剂片材(toner sheet)和图像接收片材(image-receiving sheet)之间具有优异的粘合性的记录介质。在专利文件1中，在图像接收片材上沿着磁鼓(drum)旋转方向设置有多个吸气孔。粘附图像接收片材，使得图像接收片材的吸气孔与记录用旋转磁鼓的吸气孔重叠。然后，通过图像接收片材的吸气孔和记录用旋转磁鼓的吸气孔，调色剂片材被吸着并紧密接触到图像接收片材(第[0041]段)。此外，专利文件1在第[0045]段中公开了吸气孔可形成在图像接收片材的四个侧面上。

现有技术文献

专利文献

专利文件1：日本未审专利申请公开No.H11-277920

发明内容

发明要解决的技术问题

在制造电子元件的某些情况下，已经在吸着到片材夹具的片材上执行了各种制造工艺，诸如成膜工艺和加工工艺。这些制造工艺优选地在片材没有褶皱的状态下执行。例如，由于成膜工艺是在片材没有褶皱的状态下(即，片材是平坦的)在片材上执行的，所以形成为片状的膜的厚度可近似为均匀的。因此，期望开发一种能够在片材上执行制造工艺之前使片材平坦的技术。

鉴于上述情况，本发明的目的在于提供一种能够在片材上进行制造工艺之前使片材平坦的技术。

解决问题的技术手段

根据本实施例的一方面的片材夹具包括中央载置面，片材的中央区域载置在中央载置面上，且中央载置面具有多个第一气孔，多个第一气孔配置为使片材的中央区域被吸着；外周上表面，外周上表面形成在中央载置面的外侧，且从侧面看，外周上表面在高度上低于中央载置面，外周上表面具有多个第二气孔，多个第二气孔配置为使片材的外周区域被吸着；和从中央载置面到外周上表面形成的倾斜面。根据上述内容，可防止褶皱和折痕的出现，且可使片材平坦。

在上述片材夹具中，可对外周上表面和倾斜面之间的边界进行倒角。因此，可进一步抑制褶皱的出现。

在上述片材夹具中，第二气孔具有直径增大部，从侧面看，在直径增大部处，第二气孔的直径从下侧向外周上表面增大。因此，可进一步抑制褶皱的出现。

在上述片材夹具中，可对第二气孔和外周上表面之间的边界进行倒角。因此，可进一步抑制褶皱的出现。

在上述片材夹具中，第二气孔可与倾斜面相邻。因此，可进一步抑制褶皱的出现。

根据本实施例的一方面的工作台包括上述的片材夹具，和气体排出机构，气体排出机构配置为通过第一气孔和第二气孔从片材夹具的上表面向下排出空气。根据上述内容，可防止褶皱和折痕的出现，且可使片材平坦。

根据本实施例的一方面的制造装置包括上述工作台，且在片材被吸着至工作台的状态下，在片材上执行制造工艺。

在上述制造装置中，制造工艺可至少包括在片材上形成膜的成膜工艺、或加工片材的加工工艺中的至少一个。