[发明专利]晶片缺陷检查及审查系统

权利要求书

1.一种成像物镜，其包括：

前物镜，其经配置以产生设置在样品固持件上的半导体晶片的一部分的受衍射限制的中间图像，其中所述中间图像由设置在所述样品固持件上的所述半导体晶片的所述部分反射的来自激光诱导等离子体源的照明形成，其中所述前物镜包括：

透镜，其具有充当反射表面的平面侧；

凹凸透镜；

凹面镜；及

一系列折射熔融硅石及氟化钙透镜；及

中继器，其经配置以接收由所述前物镜产生的所述中间图像，所述中继器包括三个球面镜，所述球面镜经定位以将所述中间图像的投影传递到固定图像平面。

2.根据权利要求1所述的成像物镜，其中所述中继器是三镜中继器。

3.根据权利要求1所述的成像物镜，其中所述三个球面镜均是基本上不遮光的反射镜。

4.根据权利要求1所述的成像物镜，其中所述三个球面镜具有不同曲率。

5.根据权利要求1所述的成像物镜，其中所述三个球面镜是至少可轴向或垂直移动，同时仍维持所述中间图像到所述固定图像平面的所述投影。

6.根据权利要求1所述的成像物镜，其中所述前物镜经进一步配置以放大所述中间图像，以减小所述前物镜与所述中继器之间的界面处的所述中间图像的数值孔径。

7.根据权利要求1所述的成像物镜，其中在界面处的所述中间图像的数值孔径是0.2或更小。

8.根据权利要求1所述的成像物镜，其中由所述前物镜产生的所述中间图像是远心的。

9.根据权利要求1所述的成像物镜，其进一步包括：

至少一个额外中继器，其经配置以接收由所述前物镜产生的所述中间图像，所述至少一个额外中继器包括三个球面镜，所述球面镜经定位以将所述中间图像的第二投影传递到所述固定图像平面，其中所述至少一个额外中继器具有与所述第一个提到的中继器的变焦范围不同的变焦范围。

10.一种检查系统，其包括：

照明源，其中所述照明源包括激光诱导等离子体源；

样品固持件，其经配置以固持半导体晶片；

检测器，其经定位在所述检查系统内的固定位置处；

及

成像物镜，其经配置以将所述半导体晶片成像到所述检测器上，其中所述成像物镜包括前物镜和中继器，

其中所述前物镜经配置以产生所述半导体晶片的一部分的受衍射限制的中间图像，

其中所述中继器经配置以接收由所述前物镜产生的所述中间图像，所述中继器包括三个球面镜，所述球面镜经定位以将所述中间图像的投影传递到经定位在所述固定位置处的所述检测器。

11.根据权利要求10所述的检查系统，其中所述三个球面镜均是基本上不遮光的反射镜。

12.根据权利要求10所述的检查系统，其中所述三个球面镜具有不同曲率。

13.根据权利要求10所述的检查系统，其中所述三个球面镜是至少可轴向或垂直移动，同时仍维持所述中间图像到所述检测器的所述投影。

14.根据权利要求10所述的检查系统，其中所述前物镜经进一步配置以放大所述中间图像，以减小在所述前物镜与所述中继器之间的界面处的所述中间图像的数值孔径。

15.根据权利要求10所述的检查系统，其中在界面处的所述中间图像的数值孔径是0.2或更小。

16.根据权利要求10所述的检查系统，其中由所述前物镜产生的所述中间图像是远心的。