[发明专利]表面处理方法及表面处理液

说明书

本发明提供：能进行被处理物的表面的良好的亲水化或疏水化、能在被处理物上形成表面处理效果高的区域、和表面处理效果低的区域的表面处理方法；以及可在该表面处理方法中合适地使用的表面处理液。在对已被实施了曝光及烘烤的由感光性表面处理液形成的涂布膜进行清洗、形成膜厚10nm以下的具有表面改性功能的薄膜的表面处理方法中，在感光性表面处理液中含有(A)树脂、(B)光产酸剂、和(C)溶剂，作为(A)树脂，使用具有作为选自由羟基、氰基、及羧基组成的组中的1种以上的基团的官能团I、和作为官能团I以外的亲水性基团或疏水性基团的官能团II的树脂，并且，作为(B)光产酸剂，使用通过光的作用而产生pKa为1以下的强酸的化合物。

技术领域

本发明涉及表面处理方法及可在该表面处理方法中合适地使用的表面处理液。

背景技术

一直以来，使用各种表面处理液，进行了各种物品的表面性质的改性。表面改性中，针对物品的表面的亲水化或疏水化的需求大，关于进行亲水化或疏水化的表面处理方法、可在该方法中使用的表面处理液，已提出了多种方案。

关于所述表面处理方法，例如，提出了使用至少包含共聚有丙烯酰胺单体和含有特定骨架的甲硅烷氧基的单(甲基)丙烯酸酯单体的重均分子量1500～50000的共聚物的表面调节剂，向被膜表面赋予亲水性和防污性的方法(专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5437523号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，使用专利文献1中记载的表面调节剂进行亲水化处理时，即使使用仅包含表面调节剂的溶液对被处理物的表面进行处理，也会发生下述情况：表面调节剂难以附着于被处理物的表面，难以得到所期望的亲水化效果。

因此，专利文献1中记载的方法中，将在表面调节剂的溶液中配合丙烯酸树脂、聚酯树脂、聚氨酯树脂、醇酸树脂、环氧树脂、聚胺树脂等树脂作为被膜形成成分而成的液体用作表面处理液。

而且，在使用专利文献1中记载的包含表面调节剂和被膜形成成分的表面处理液时，被处理物的表面被包含树脂的被膜被覆，因此，即使发生了良好的亲水化，也会损害被处理物所具有的有用的表面特性。

另外，根据进行了表面处理的材料的用途，有时在应进行表面处理的位置、与不应进行表面处理的位置中，需要使表面处理的效果存在差异。理想的是，优选已被表面处理的位置与未经表面处理的位置微细地发生了图案化。

然而，对于使用专利文献1中记载的方法中使用的表面调节剂的方法而言，难以按照各部位分别对表面处理的效果设置差异，也难以微细且精密地分部涂布表面处理剂来设置已被表面处理的位置和未经表面处理的位置。结果，通过专利文献1中记载的方法，难以在应进行表面处理的位置、与不应进行表面处理的位置中对表面处理的效果设置差异。

本发明是鉴于上述的课题而作出的，目的在于提供：即使不包含被膜形成性的树脂，也能进行被处理物的表面的良好的亲水化或疏水化，并且，能在被处理物上形成表面处理效果高的区域、和表面处理效果低的区域的表面处理方法；以及，可在该表面处理方法中合适地使用的表面处理液。

用于解决课题的手段

本申请的发明人发现，通过在对已被实施了曝光及烘烤的由感光性表面处理液形成的涂布膜进行清洗、形成膜厚10nm以下的具有表面改性功能的薄膜的表面处理方法中，使感光性表面处理液中含有(A)树脂、(B)光产酸剂、和(C)溶剂，作为(A)树脂，使用具有作为选自由羟基、氰基、及羧基组成的组中的1种以上的基团的官能团I、和作为官能团I以外的亲水性基团或疏水性基团的官能团II的树脂，并且，作为(B)光产酸剂，使用通过光的作用而产生pKa为1以下的强酸的化合物，能解决上述的课题，从而完成了本发明。具体而言，本发明提供以下的方案。