[发明专利]摄像模块及摄像装置

说明书

本发明通过提高光学绘图装置或光CT装置等摄像装置中的空间、时间、能量分辨率，且通过摄像装置的小型·轻量化来大幅提高影像诊断精度，从而实现疾病等的早期发现以及医疗费的消减。本发明提供一种摄像模块的摄像装置，该摄像模块是对将与形成有集成电路的半导体基板面垂直方向上的半导体基板的侧面部作为受光面的半导体摄像元件，在形成有集成电路的半导体基板面上，以来自光源部的光的出射方向与基板侧面部的法线方向一致的方式配置一个或多个光源部而成。

技术领域

本发明涉及能量、空间及时间分辨率优异，且实现高灵敏度、小型轻量、低功耗的摄像模块，以及使用了该摄像模块的摄像装置。

背景技术

目前公开有使用近红外光的光CT(计算机断层扫描)装置(专利文献1)。但是，由于需要呈放射状配置多个检测器，或者使光源部在被检体的周围旋转运动，因而得不到充分的空间析像度，难以实现装置的小型·轻量化。同样地，还公开有利用近红外光的乳腺X射线摄影装置(专利文献2)，但由于与被检体的形状吻合的检测器和光源的配置存在制约且检测器的个数也有限制，因此难以发现早期或者几毫米以内的微小病变部位。另外，对于使用近红外光的光学绘图装置(专利文献3)，所使用的检测器与光源的组合个数也存在制约，因而得不到充分的分辨率，对进行后续图像分析或诊断等期待进一步改善。另外，无论是乳腺X射线摄影装置还是光学绘图装置，均难以准确设定光源与检测器的相对位置关系，此外对受检者而言，将这些装置通过密合或压迫而装备于身体时所带来的痛苦和不快感也成为了问题。另一方面，公开有将由可见光得到的图像信息和由超声波检测器得到的信息进行了组合的复合摄像装置(专利文献4)，但还需要使用近红外光同时获取生物体内的图像信息以期早期发现癌症及其它疾病及减轻患者负担。

目前公开有通过使X射线从半导体基板的侧面入射并于X射线在半导体基板内部向与半导体基板面平行的方向行进期间进行光电转换，来实现X射线光谱分析的方法(专利文献5)，以及对近红外光具有灵敏度的摄像元件(专利文献6)。与可见光相比，X射线及近红外线都是通过增加硅内部的入射光光程来提高灵敏度。专利文献7中记载有将上述侧面入射摄像元件的原理应用于X射线CT装置的例子。但是，这种将基板侧面作为受光部的摄像元件是通过切割(Dicing)半导体晶圆将其分割(单片化)为一个个的摄像元件而得到的。因此，摄像元件表面的周边部或侧壁部会因该切割工序而受到机械损伤、热损伤而产生晶体缺陷，并且暴露于来自于外部的重金属或反应性化学物质等的污染当中。因而，像这样将基板侧面作为受光部的摄像元件仍存在尚未解决的技术问题。

现有技术文献：

专利文献1:日本特开平4-241850

专利文献2:日本特表2002-502652

专利文献3:日本特开昭63-275323

专利文献4:日本特开昭57-145650

专利文献5:日本特开平8-29329

专利文献6:日本特开2011-205085

专利文献7:日本特表2012-517604

发明内容

发明要解决的问题: