[发明专利]剥离方法及柔性装置的制造方法

权利要求书

1.一种柔性装置的制造方法，包括如下步骤：

在形成用衬底上使用具有感光性及热固化性的材料形成厚度为0.1μm以上且3μm以下的第一层；

通过光刻法去除所述第一层的一部分，然后进行热处理以形成具有开口的树脂层；

形成覆盖所述树脂层的所述开口的硅层；

在所述树脂层上形成包含金属氧化物的晶体管；

通过与所述晶体管的源极或漏极的制造工序相同的制造工序在覆盖所述开口的所述硅层上形成导电层；

对所述树脂层及覆盖所述开口的所述硅层照射激光；以及

从所述形成用衬底分离所述晶体管及所述导电层。

2.根据权利要求1所述的柔性装置的制造方法，其中所述硅层构成为被照射光而释放氢。

3.根据权利要求1所述的柔性装置的制造方法，其中所述硅层是氢化非晶硅层。

4.根据权利要求1所述的柔性装置的制造方法，其中从所述形成用衬底一侧对所述树脂层及所述硅层照射所述激光。

5.一种柔性装置的制造方法，包括如下步骤：

在形成用衬底上使用具有感光性及热固化性的材料形成厚度为0.1μm以上且3μm以下的第一层；

通过光刻法去除所述第一层的一部分，然后进行热处理以形成具有开口的树脂层；

形成覆盖所述树脂层的所述开口的氧化物层；

在所述树脂层上形成包含金属氧化物的晶体管；

通过与所述晶体管的源极或漏极的制造工序相同的制造工序在覆盖所述开口的所述氧化物层上形成导电层；

对所述树脂层及覆盖所述开口的所述氧化物层照射激光；以及

从所述形成用衬底分离所述晶体管及所述导电层。

6.根据权利要求5所述的柔性装置的制造方法，其中所述氧化物层包含铝、镓、钇和锡中的任一个、铟及锌。

7.根据权利要求5所述的柔性装置的制造方法，其中从所述形成用衬底一侧对所述树脂层及所述氧化物层照射所述激光。

8.一种柔性装置的制造方法，包括如下步骤：

在形成用衬底上使用具有感光性及热固化性的材料形成厚度为0.1μm以上且3μm以下的第一层；

通过光刻法去除所述第一层的一部分，然后进行热处理以形成具有开口的树脂层；

形成覆盖所述树脂层的所述开口的氧化物层；

在所述树脂层上形成包含金属氧化物的晶体管；

通过与所述晶体管的源极或漏极的制造工序相同的制造工序在覆盖所述开口的所述氧化物层上形成导电层；

对所述树脂层及覆盖所述开口的所述氧化物层照射激光；以及

从所述形成用衬底分离所述晶体管及所述导电层，

其中，所述氧化物层包含铝、镓、钇和锡中的任一个、铟及锌，

并且，从所述形成用衬底一侧对所述树脂层及所述氧化物层照射所述激光。

9.根据权利要求1、5、8中任一项所述的柔性装置的制造方法，其中所述激光是线性激光。

10.根据权利要求1、5、8中任一项所述的柔性装置的制造方法，其中使用粘度为5cP以上且低于100cP的溶液形成所述第一层。

11.根据权利要求1、5、8中任一项所述的柔性装置的制造方法，其中使用旋涂机形成所述第一层。

12.根据权利要求1、5、8中任一项所述的柔性装置的制造方法，

其中以第一温度进行所述热处理，

并且以低于所述第一温度的温度制造所述晶体管。