[发明专利]臭氧气体的浓缩方法以及臭氧气体的浓缩装置

权利要求书

1.一种臭氧气体的浓缩方法，其特征在于，

所述臭氧气体的浓缩方法包括如下工序：

向保持有用于吸附臭氧气体的吸附剂的吸附容器内导入包含臭氧气体的原料混合气体，使所述吸附剂吸附臭氧气体；

将与所述吸附容器连接为能够切换连通的状态与不连通的状态的浓缩容器的内部在与所述吸附容器不连通的状态下减压；以及

将内部被减压的所述浓缩容器与保持吸附有臭氧气体的所述吸附剂的所述吸附容器切换为连通的状态，并利用所述浓缩容器内与所述吸附容器内的压力差使吸附于所述吸附剂的臭氧气体脱附并输送至所述浓缩容器内，由此向所述浓缩容器内导入臭氧气体的浓度比所述原料混合气体高的浓缩混合气体。

2.根据权利要求1所述的臭氧气体的浓缩方法，其特征在于，

所述臭氧气体的浓缩方法还包括：在使所述吸附剂吸附臭氧气体的工序之后且在向所述浓缩容器内导入所述浓缩混合气体的工序之前，通过对保持吸附有臭氧气体的所述吸附剂的所述吸附容器内进行排气而排出所述吸附容器内的一部分气体的工序。

3.根据权利要求2所述的臭氧气体的浓缩方法，其特征在于，

排出所述吸附容器内的一部分气体的工序包括：通过将保持吸附有臭氧气体的所述吸附剂的所述吸附容器连通到大气而排出所述吸附容器内的一部分气体的工序。

4.根据权利要求2所述的臭氧气体的浓缩方法，其特征在于，

排出所述吸附容器内的一部分气体的工序包括：保持吸附有臭氧气体的所述吸附剂的所述吸附容器内的一部分气体到达所述浓缩容器之前进行排气，从而使所述吸附容器内的压力成为-80kPa·G以下的工序。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的臭氧气体的浓缩方法，其特征在于，

使用多个所述吸附容器来实施所述臭氧气体的浓缩方法。

6.根据权利要求5所述的臭氧气体的浓缩方法，其特征在于，

排出所述吸附容器内的一部分气体的工序包括：使保持吸附有臭氧气体的所述吸附剂的多个所述吸附容器中的第一吸附容器与多个所述吸附容器中的第二吸附容器连通而排出所述第一吸附容器内的一部分气体的工序。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的臭氧气体的浓缩方法，其特征在于，

使用多个所述浓缩容器来实施所述臭氧气体的浓缩方法。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的臭氧气体的浓缩方法，其特征在于，

向所述浓缩容器内导入所述浓缩混合气体的工序不加热所述吸附容器而实施。

9.一种臭氧气体的浓缩装置，其特征在于，

所述臭氧气体的浓缩装置包括：

吸附容器，保持通过导入包含臭氧气体的原料混合气体而吸附臭氧气体的吸附剂；

浓缩容器，与所述吸附容器连接；

减压装置，与所述浓缩容器连接，并能够对所述浓缩容器内进行减压；以及

流路控制装置，切换如下两种状态：不使所述吸附容器与所述浓缩容器连通、并且通过所述减压装置对所述浓缩容器内进行减压的状态；以及使所述吸附容器与所述浓缩容器连通、并且未通过所述减压装置对所述浓缩容器内进行减压的状态、且是通过利用所述浓缩容器内与所述吸附容器内的压力差使吸附于所述吸附剂的臭氧气体脱附而输送至所述浓缩容器内由此向所述浓缩容器内导入臭氧气体的浓度比所述原料混合气体高的浓缩混合气体的状态。

10.根据权利要求9所述的臭氧气体的浓缩装置，其特征在于，

所述臭氧气体的浓缩装置还包括排气路，该排气路与所述吸附容器连接，并使所述吸附容器内的气体到达所述浓缩容器之前进行排气。

11.根据权利要求9或10所述的臭氧气体的浓缩装置，其特征在于，

所述臭氧气体的浓缩装置包括多个所述吸附容器。

12.根据权利要求9或10所述的臭氧气体的浓缩装置，其特征在于，

所述臭氧气体的浓缩装置包括多个所述浓缩容器。